Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации	Автор	Год
Физико-технологические принципы создания катодно-подогревательных узлов магнетронов с мгновенным временем готовности	Ли Илларион Павлович	2021
Формирование и исследование пленок WSi для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования	Васильев Денис Дмитриевич	2021
Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней	Чжо Зин Пьо	2021
Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойства пленок нитрида алюминия	Амбарцумов Михаил Георгиевич	2020
Выращивание монокристаллов с использованием погруженного ОТФ нагревателя в строго контролируемых тепловых условиях	Гоник Михаил Александрович	2020
Горизонтальный ионный затвор для органических и перовскитных солнечных элементов	Саранин Данила Сергеевич	2020
Исследование и разработка технологии сборки КМОП КНС и КНИ интегральных микросхем на гибком полиимидном носителе	Плис Николай Иванович	2020
Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок	Вертянов Денис Васильевич	2020
Исследование и разработка элементов и систем накопления электрической энергии, интегрирующих два механизма накопления в двойном электрическом слое и за счёт протекания химических процессов	Чжо Зо Лвин	2020
Конструкторско-технологические основы создания корпусов из металломатричных композитов для СВЧ транзисторов на основе широкозонных материалов	Золотарев Алексей Алексеевич	2020
Омические контакты на основе системы металлизации Mo/Al/Mo/Au к гетероструктурам AlGaN/GaN	Кондаков Михаил Николаевич	2020
Получение, структурные и электрофизические исследования пьезокерамики на основе систем (1-x)Ba(Ti,Sn)O3∙xPbTiO3, (1-2x)BiScO3∙xPbMg1/3Nb2/3O3∙xPbTiO3 и фаз Bi3TiNbO9, Na0,5Bi4,5Ti4O15 со структурой слоистого перовскита	Спицин Александр Игоревич	2020
Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники	Бокарев Валерий Павлович	2020
Разработка и исследование технологических основ создания кремний-углеродных пленок для сенсоров газов и электродов электрохимических конденсаторов	Григорьев Михаил Николаевич	2020
Синтез и исследование оксидных композиций со структурой граната в системе Y2O3-Yb2O3-Sc2O3-Al2O3 для оптической керамики	Никова Марина Сергеевна	2020
Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния	Морозов Иван Александрович	2020
Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе	Абдуллаев Даниил Анатольевич	2019
Выращивание кристаллов диэлектриков из водных растворов при низкочастотном вибрационном воздействии на жидкую фазу	Ермоченков Иван Максимович	2019
Выращивание монокристаллов с использованием погруженного ОТФ нагревателя в строго контролируемых тепловых условиях	Гоник Михаил Александрович	2019
Высокочистые координационные соединения 8-оксихинолина с металлами s- и p-элементов для органических светоизлучающих диодных структур	Аккузина Алина Александровна	2019