Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, доктор технических наук Белов, Алексей Николаевич

• Белов, Алексей Николаевич
• доктор технических наук
• 2011

Оглавление диссертации доктор технических наук Белов, Алексей Николаевич

Введение

Содержание

1. Современные представления об электрохимических процессах самоорганизации пористых оксидных слоев и методах создания наноструктур на их основе.

1.1. Пористые наноструктуры и области их применения.

1.2. Особенности процессов самоорганизации пористых металл-оксидных наноструктур.

1.2.1. Физико-химические основы процесса анодного окисления металлов.

1.2.2 Представления о механизмах зарождения и образования пор в анодном оксиде алюминия.

1.2.3. Методы создания анодных оксидов металлов с высокоупорядоченной структурой.

1.3. Особенности анодного окисления многослойных структур.

1.4. Методы создания нанокристаллов в матрице пористых анодных оксидов металлов.

1.4.1. Особенности локального электрохимического осаждения металлов и полупроводников в пористые металл - оксидные наноструктуры.

1.4.2. Анализ физических и термодинамических свойств массивов металлических и полупроводниковых нанокристаллов в пористых металл-оксидных матрицах.

1.5. Методы нанопрофилирования поверхности полупроводниковых структур с использованием твердой маски пористого оксида алюминия.

1.6. Основные проблемы внедрения пористых оксидов металлов и наноструктур на их основе в технологию приборных структур.

1.7 Цель и задачи диссертационной работы.

2. Особенности самоорганизации пористого оксида алюминия.

2.1 Разработка реактора для проведения процессов формирования пористых оксидов металлов с непрерывным во времени контролем характеристик электрохимического процесса.

2.2. Исследование кинетики процесса формирования пористого анодного оксида алюминия в гальваностатическом и потенциостатическом режимах.

2.3. Методика формирования пористого анодного оксида алюминия, учитывающая взаимосвязь технологических параметров процесса.

2.4. Исследование влияния факторов процесса анодного окисления алюминия на степень упорядоченности структур пористого анодного оксида алюминия.

2.5 Выводы.

3. Особенности самоорганизации пористых оксидов тугоплавких металлов.

3.1. Исследование закономерностей метода формирования пористого анодного оксида титана.

3.2. Разработка метода формирования высокоупорядоченного пористого оксида титана на основе многостадийного электрохимического окисления.

3.3. Исследование закономерностей метода формирования пористых анодных оксидов ниобия и вольфрама.

3.4 Исследование зависимости геометрических параметров пористых анодных оксидов титана, ниобия и вольфрама от условий их формирования.

3.5. Исследование закономерностей метода формирования наноструктурированного оксида титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан.

3.6. Выводы.

4. Исследование механизма порообразования при анодном окислении металлов.

4.1. Критический анализ моделей зарождения и роста пористых оксидов.

4.2. Комплексный анализ кинетики протекания электрохимической реакции анодного окисления алюминия.

4.3. Физико-химическое моделирование процессов самоорганизации пористых металл-оксидных наноструктур.

4.4. Выводы.

5. Разработка методов формирования металлических и полупроводниковых нанокристаллов и нанопрофилирование поверхности полупроводников с использованием пористых оксидов металлов.

5.1. Разработка импульсного катодного осаждения металлических нанокристаллов в матрицу пористого анодного оксида алюминия.

5.2. Разработка метода преобразования массивов металлических нанокристаллов в халькогениды. Особенности конструктивного исполнения диффузионной печи для сульфидизации и селенизации встроенных в нанопористые матрицы металлических нанокристаллов.

5.3. Исследование термодинамических, магнитных и оптических свойств металлических нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия.

5.4. Исследование и разработка метода нанопрофилирования поверхности кремния плазменным травлением с использованием твердой маски пористого оксида алюминия.

5.5. Выводы.

6. Практическое применение разработанных процессов формирования пористых оксидов металлов и наноструктур на их основе.

6.1. Рекомендации по практическому использованию пористых оксидов металлов и массивов металлических нанокристаллов, встроенных в матрицу пористого анодного оксида металла.

6.2. Разработка чувствительных элементов датчиков влажности на основе пористого оксида алюминия.

6.3. Тонкопленочные гетероструктурные фотоэлектрические преобразователи с базовым слоем на основе оксида титана.

6.4. Разработка калибровочных структур для оценки качества кантилеверов сканирующей зондовой микроскопии на основе алюминия с наноструктурированной поверхностью.

6.5. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов»

Актуальность.

Интерес исследователей в области нанотехнологий обусловлен с одной стороны продвижением классической микро-электроники в область устройств с наноразмерными топологическими нормами, с другой - с созданием наноструктур, представляющих научный интерес для понимания фундаментальных электронных, магнит-ных, оптических, тепловых и механических свойств материалов и практическую значимость с точки зрения создания на их основе приборов с принципиально новыми физическими свойствами для использования в микро- и наносистемной технике, сенсорике, микро-, нано- и оптоэлектронике.

В настоящее время наряду с литографическими методами формирования наноструктур развивают методы, основанные на процессах самоорганизации. К ним относятся выращивание нанокристаллов из газовой фазы и растворов, термическое или лазерное осаждение, химические методы, включающие термические, гидротермические и карботермические реакции, а также электрохимические.

Самоорганизация наноразмерных структур при электрохимической обработке наиболее ярко проявляется в ходе формирования пористых анодных оксидов металлов (алюминия, титана, вольфрама, ниобия, гафния, ванадия, тантала). Эти оксиды содержат массивы ориентированных перпендикулярно подложке пор. Отличительной особенностью этих пленок является высокая степень упорядоченности в расположении пор и возможность управляемого варьирования диаметра пор в широком диапазоне (от 10 до 150 нм). Это позволяет использовать как функциональные свойства самих оксидов в различных приборах и конструкциях, так и создавать на их основе наноструктуры, характеризующиеся рядом принципиально новых физических и термодинамических свойств.

Как у нас в стране, так и за рубежом интенсивно проводятся исследования и разработки эффективных методов синтеза пористых анодных оксидов металлов. Однако, до сих пор не созданы единые подходы к объяснению механизмов образования упорядоченных массивов пор в ходе анодного окисления, что существенно сдерживает внедрение анодного окисления в промышленные технологии создания упорядоченных наноструктур.

Поэтому исследование процессов электрохимического формирования пористых оксидов металлов и наноструктур на их основе, выработка теоретических подходов к описанию протекающих процессов и разработка на базе этих подходов принципов создания технологических процессов, совместимых с маршрутами производства изделий нано- и микросистемной техники, сенсорики, микро-, нано-и оптоэлектроники, являются актуальными.

Цель работы и задачи.

Целью диссертационной работы было создание научных основ технологических процессов электрохимического формирования пористых оксидов металлов и наноструктур на их основе, совместимых с маршрутами изготовления приборов нано- и микросистемной техники, сенсорики, микро-, нано- и оптоэлектроники.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

- проанализировать существующие представления о механизмах самоорганизации пористых анодных оксидов и методы создания функциональных наноструктур на их основе;

- разработать электрохимический реактор для проведения процессов формирования пористых оксидов металлов, обеспечивающий контроль основных технологических параметров анодного окисления;

- исследовать влияние основных технологических параметров на кинетику процесса анодного окисления и определить факторы, определяющие упорядоченность, геометрические параметры пористого анодного оксида алюминия, как модельной структуры;

- разработать методику формирования пористого анодного оксида алюминия, учитывающую взаимосвязь технологических параметров процесса, обеспечивающую создание высокоупорядоченных слоев;

- исследовать особенности самоорганизации пористых оксидов туго-плавких металлов, выявить зависимости геометрических параметров наноструктуры анодных оксидов от условий их формирования;

- исследовать закономерностей формирования массивов нанокристаллов оксида титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан;

- исследовать механизм порообразования при анодном окислении металлов и разработать физико-химическую модель процесса самоорганизации пористых анодных оксидов;

- разработать методы импульсного катодного осаждения металлических нанокристаллов в поры оксида алюминия, преобразования массивов металлических нанокристаллов в халькогениды и исследовать термодинамические, оптические и магнитные свойства металлических нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия;

- исследовать процесс плазменного травления кремния через маску пористого анодного оксида алюминия и разработать метод получения периодических наноструктур на кремнии;

- разработать рекомендации по использованию наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов в устройствах опто-, наноэлектроники и сенсорики.

Научная новизна.

- создана физико-химическая модель процесса самоорганизации пористых оксидов при анодном окислении металлов, учитывающая соотношение скоростей окисления металла и травления оксида, позволяющая определить условия протекания анодного полирования, образования пористого и плотного анодных оксидов и обеспечивающая возможность исследования характера зарождения пор и начальных стадий роста, а также эволюцию во времени геометрических размеров пор в анодных оксидах металлов;

- предложен способ формирования оксида алюминия с повышенной степенью упорядоченности наноструктуры, основанный на согласованном управлении температурой протекания электрохимического процесса в зависимости от изменения электрофизических параметров анодного окисления. Предложена методика анализа параметров электрохимического процесса выращивания пористых анодных оксидных пленок, основанная на непрерывном во времени контроле электрофизических характеристик процесса и температуры;

- установлены закономерности переходных процессов, протекающих в системе электролит - пористый анодный оксид алюминия - алюминий при подаче прямоугольных импульсов напряжения, и обеспечивающие однородное электрохимическое осаждение металлов в по-ры в импульсном режиме; установлено немонотонное изменение температуры плавления металлических нанокристаллов, встроенных в матрицу пористого анодного оксида алюминия, от их латеральных размеров, обусловленное зависимостью величины поверхностного натяжения от радиуса кривизны нанокристаллов;

- установлены закономерности плазменного травления кремния через маску пористого анодного оксида алюминия, учитывающие особенности анодных структур, получаемых окислением двухслойных систем алюминий - тугоплавкий металл (на примере И) на кремниевых подложках, и обеспечивающие получение периодических наноструктур на кремнии;

- установлены закономерности процессов анодного окисления тугоплавких металлов. Определена взаимосвязь строения элементарных ячеек пористого анодного оксида титана с технологическими режимами окисления.

Практическая значимость работы.

Разработан электрохимический реактор для анодирования, обеспечивающий точное поддержание требуемой температуры в зоне реакции, постоянство напряженности электрического поля в растущем оксиде и улучшенный массоперенос в наноразмерных порах оксида. Работа в данной области удостоена наград на Всероссийских научно - технических выставках. Электрохимический реактор - «Нано-ЭХ-10» внедрен в производство на предприятии ООО НПП «НаноИнТех», г.Москва. Реакторы также изготавливаются по заказам исследовательских групп и были реализованы в следующие университеты и организации: Волгоградский государственный университет; Уральский федеральный университет им. Б.Н. Ельцина; ОАО «НИИМЭ и завод Микрон», г. Москва.

Технология элементов датчиков магнитного поля внедрена в НПК «Технологический центр» в рамках выполнения в 2009-2010 гг. ОКР «Юта-ГМР-КМ».

Разработанные технологии формирования металлических и полупроводниковых нанокристаллов, встроенных в матрицу пористого оксида алюминия, являются потенциальной базой для создания на их основе оптических фильтров, фотонных нанокристаллов.

Разработанная технология нанопрофилирования полупроводниковых материалов с использованием твердых масок пористого оксида алюминия и локального их плазменного травления обеспечивает возможность создания элементов нано- и оптоэлектроники.

Разработанный метод создания влагочувствительного элемента емкостного преобразователя на основе пористого оксида алюминия является альтернативой существующим в России аналогам, характеризуется упрощенной технологией создания и себестоимостью.

На базе процесса анодного окисления алюминия разработана технология тестовых структур, представляющих собой алюминий с нано-профилированной поверхностью, являющихся эффективными для оценки качества кантилеверов, используемых в сканирующей зондовой микроскопии, в том числе кантилеверов со сверхострыми иглами. Данные тестовые структуры внедрены в ЗАО «Силикон-МДТ», г Москва, где структуры изготавливаются по заказам исследовательских групп и были реализованы в следующие университеты, научно- исследовательские центры и фирмы: Кембриджский университет, Англия; Дублинский университет, Ирландия; Технический университет, г. Эйндховен, Нидерланды; Ноттингемский университет, Англия; Университет прикладных наук, г. Аргау, Швейцария; «Agar Scientific Ltd.», Англия; Университет г. Пенн, США; «Наночип», США; «Madison Area Tech.», США; Университет г. Хьюстон, США; Гарвардский университет, США; Университет г. Юта, США; «PSIA», Корея.

Разработанные методики исследования свойств наноструктур на основе пористых оксидов металлов аттестованы в Государственной службе стандартных справочных данных (ГСССД) («Методика диагностики геометрических размеров нанообъектов на основе атомной силовой микроскопии», аттестат № 157-2009 и «Методика экспериментального определения пористости наноструктуры пленок оксидов металлов на основе спектрофотометрии», аттестат № 168-2010).

Результаты диссертационной работы использованы в НИР: по за-данию министерства образования и науки РФ; программе «Развитие научного потенциала высшей школы»; в рамках выполнения комплексных проектов

Работа поддержана грантами: министерства образования и науки; РФФИ; Президента РФ для поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук и ведущих научных школ.

Результаты работы использованы при выполнении хоздоговорных НИР в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники» на 2002-2006 годы, ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы, ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы.

Результаты работы использованы в учебном процессе МИЭТ в курсе лекций «Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники», «Материалы микросистемной техники», «Материалы электронной техники» и «Основы метрологии» и при подготовке научных кадров высшей квалификации.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались на следующих конференциях и семинарах: Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов», 2004 г.; Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция «Микроэлектроника и информатика», 2004-2005 гг.; Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Датчик», 2004 г.; Международная техническая конференция «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники», 2004, 2006 гг.; Международная конференция «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы», 2004, 2007-2011 гг.; Конференция студентов и аспирантов по естественным, техническим наукам и инновационным научно-образовательным проектам, 2004-2005 гг.; Российско-японский семинар «Оборудование и технологии для производства компонентов твердотельной электроники и наноматериалов», 2005 г.; Международная научно-техническая конференция «Nanomeeting. Phisycs, chemistry and application of nanostructures», 2005, 2007, 2009 гг.; Международная школа-семинар «Новые информационные технологии», 2005г.; Международная конференция «Микро- и наноэлектроника», 2005, 2007 гг., Всероссийская конференция с международным участием «Химия поверхности и нанотехнология», 2006 г.; Всероссийская конференция по наноматериалам «НАНО-2007», 2007; Международная научно-техническая конференция «Микроэлектроника и наноинженерия», 2008; Всероссийская научно-техническая конференция «Нанотехнологии и наноматериалы: современное состояние и перспективы развития», 2009 г.; Международная школа-семинар «Наноструктурированные оксидные пленки и покрытия», 2010 г.; Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии», 2010.

Публикации.

По теме диссертационной работы опубликованы 84 работы, 20 из которых в журналах, рекомендуемых ВАК РФ, и 5 патентов на изобретение.

Личный вклад автора состоит в организации и постановке задач на исследования, непосредственном участии в их проведении, в анализе результатов исследований, в обобщении и обосновании всех защищаемых положений.

Основные научные положения, выносимые на защиту:

- физико-химическая модель процесса самоорганизации пористого оксида при анодном окислении металла, учитывающая соотношение скоростей окисления металла и травления оксида, описывающая характер зарождения пор и начальных стадий роста, а также эволюцию во времени геометрических размеров пор в анодных оксидах металлов;

- метод формирования оксида алюминия с повышенной степенью упорядоченности наноструктуры, основанный на согласованном управлении температурой протекания электрохимического процесса в зависимости от изменения электрофизических параметров анодного окисления;

- метод электрохимического осаждения металлов в поры оксида алюминия в режиме переменного тока, основанный на установленных закономерностях переходных процессов в системе электролит - пористый анодный оксид алюминия - алюминий;

- установленная зависимость температуры плавления от латеральных размеров металлических нанокристаллов, осажденных в матрицу пористого анодного оксида алюминия;

- метод формирования нанонитей халькогенидов металлов обработкой парами халькогена при температуре выше точки плавления металлических нанокристаллов в порах анодного оксида алюминия;

- метод формирования периодических наноструктур на поверхности полупроводников локальным плазменным травлением через маску пористого анодного оксида алюминия, учитывающий установленные закономерности процесса анодирования трехслойных структур: алюминий - тугоплавкий металл -кремний;

- установленные закономерности влияния технологических параметров анодного окисления тугоплавких металлов на строение формируемых пористых анодных оксидов;

- метод формирования высокоупорядоченного пористого оксида титана на основе многостадийного электрохимического окисления.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, шести основных глав с выводами, общих выводов, списка использованных источников из 332 наименований и приложения. Основное содержание диссертации изложено на 270 страницах, содержит 98 рисунков и 10 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Белов, Алексей Николаевич

Основные результаты и выводы

Основным результатом работы являются разработанные принципы создания наноструктур на основе пористых оксидов металлов, позволивших разработать физико-технологические решения по созданию ряда оригинальных приборов на основе наноструктурированных материалов внедрение которых вносит значительный вклад в развитие опто-, наноэлектроники и сенсорики.

Результаты и выводы по работе заключаются в следующем:

1. Разработан электрохимический реактор для анодирования, обеспечивающий точное поддержание требуемой температуры в зоне реакции, постоянство напряженности электрического поля в растущем оксиде и улучшенный массоперенос в наноразмерных порах оксида.

2. Установлены закономерности самоорганизации пористого оксида алюминия:

- определены временные зависимости величин напряжения, плотности тока и температуры в зоне реакции процесса анодного окисления алюминия;

- предложена методика анализа параметров электрохимического процесса выращивания пористых анодных оксидных пленок, основанная на непрерывном во времени контроле электрофизических характеристик процесса и температуры;

- установлены зависимости структуры слоев оксида и свойств от условий формирования;

- предложен способ формирования оксида алюминия с повышенной степенью упорядоченности наноструктуры, основанный на согласованном управлении температурой протекания электрохимического процесса в зависимости от изменения электрофизических параметров анодного окисления.

3. Получены результаты комплексного исследования закономерностей формирования наноструктурированного анодного оксида титана:

- определены закономерности кинетики процесса анодного окисления титана, проводимого в водных и неводных растворах фторсодержащих соединений, и самоорганизации пористого оксида титана, формируемого в соответствующих электролитах;

- предложен способ анодирования титана в потенциодинамическом ре-жиме, заключающемся в плавном повышении напряжения от нуля до требуемого значения в первоначальный момент времени, обеспечивающий зарождение пористой структуры оксида титана практически с начального этапа анодирования;

- предложен метод формирования высокоупорядоченного пористого оксида титана с низкой дисперсией размеров пор, заключающийся в многостадийном электрохимическом окислении;

- предложен метод формирования массивов нанокристаллов оксида титана на основе анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан.

4. Установлены закономерности формирования пористых анодных оксидов ниобия и вольфрама.

5. Предложена физико-химическая модель процесса самоорганизации пористого оксида при анодном окислении металла, учитывающая соотношение скоростей окисления металла и травления оксида, позволяющая описать три основных процесса, протекающих при анодировании: полировку, формирование пористого оксида и выращивание плотного оксида, обеспечивающая возможность исследования характера зарождения пор и начального его роста, эволюцию во времени геометрических размеров пор оксида металла.

6. Разработан метод электрохимического осаждения металлов в поры оксида алюминия в режиме переменного тока, основанный на установленных закономерностях переходных процессов в двухслойной структуре: пористый анодный оксид алюминия - алюминий.

7. Предложен способ преобразования массивов металлических нанонитей, встроенных в матрицу пористого анодного оксида алюминия, в сульфиды и селениды, заключающийся в их обработке в среде, содержащей пары серы или селена, при температурах, превышающих температуру плавления металлов.

8. Получены результаты исследования термодинамических, оптических и магнитных свойств металлических нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия. Установлено немонотонное изменение температуры плавления металлических нанокристаллов от их латеральных размеров, обусловленное зависимостью величины поверхностного натяжения от радиуса кривизны нанокристаллов.

9. Установлены закономерности плазменного травления кремния через маску пористого анодного оксида алюминия, учитывающие особенности анодных структур, получаемых окислением двухслойных систем алюминий - тугоплавкий металл (на примере Тл) на кремниевых подложках, и обеспечивающие получение периодических наноструктур на кремнии;

10. Сформулированы рекомендации по использованию наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов в устройствах опто-, нано-электроники и сенсорики, разработаны физико-технологические решения к созданию тонкопленочных гетероструктурных фотоэлектрических преобразователей, влагочувствительных элементов емкостных преобразователей, калибровочных структур для оценки качества кантилеверов сканирующей зондовой микроскопии.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Белов, Алексей Николаевич, 2011 год

1. Lu G.Q., Zhao, X.S. Nanoporous Materials Science and Engineering // World Scientific.-2004.-900 P.

2. Parkhutik V. Porous silicon mechanisms of growth and applications // Solid-State Electronics. -1999. -Vol. 43. P.l 121-1141.

3. Canham L.T. Silicon quantum wire array fabrication by electrochemical and chemical dissolution ofwafers// Applied Physics Letters. -1990. Vol.57. -№10. -P.1046-1048.

4. Monica S. La, Maiello G., Ferrari A., Masini G., Lazarouk S., Jaguiro P., Katsouba S. Progress in the field of integrated optoelectronics based on porous silicon // Thin Solid Films. -1997. Vol.297. - P.265-267.

5. Бондаренко В.П., Клышко A.A., Балукани M., Феррари А. Потери на распространение света в изогнутых интегральных волноводах на основе окисленного пористого кремния // ПЖТФ. 2005. -Т. 31. -В.6. - С. 17-22.

6. Kordas К., Pap А. Е., Веке S., Leppavuori S. Optical properties of porous silicon: Fabrication and investigation of single layers // Optical Materials. -2004. -Vol. 25. -P.251-255.

7. Осминкина JI.A., Курепина E.B., Павликов A.B., Тимошенко В.Ю., Кашкаров П.К. Взаимодействие инфракрасного излучения со свободными носителями заряда в мезопористом кремнии // ФТП. 2004. -Т.38. -В. 5. -С.603-609.

8. Lehmann V. The physics of macroporous silicon formation // Thin Solid Films. -1995. -Vol.255.-P.l-4.

9. Zhang P., Kim P.S., Sham Т.К. Nanostructured CdS prepared on porous silicon substrate: structure, electronic, and optical properties // Journal of Applied Physics. -2002. -Vol.91. -No.9. -P. 6038-6043.

10. Huczko A. Template-based synthesis of nanomaterials // Journal of Applied Physics A. -2000. -Vol. 70. -P.365-376.

11. Yamasaki T., Tsutsui T. Fabrication and optical properties of two -dimensional ordered arrays of silica microspheres // Journal of Applied Physics. -1998. -Vol.38. -P.5916-5921.

12. Lambert M. Surhone, Miriam T. Timpledon, Susan F. Marseken Porous glass // Beta publishing.-2010.-80 p.

13. Zixue Su, Wuzong Zhou Porous Anodic Metal Oxides //Scientce Found In China-2008.-Vol.16- No.l-P.36-53.

14. Li A. P., Muller F., Birner A., Nielsch K., Gosele U. Hexagonal pore arrays with a 50-420 nm interpore distance formed by self-organization in anodic alumina // Journal of Applied Physics. -1998. Vol.84. - No.l 1. -P.6023-6026.

15. Gong D., Grimes C.A., Varghese O.K. Titanium oxide nanotube arrays prepared by anodic oxidation // Journal of Materials Research. -2001. Vol. 16, No. 12. -P. 33313334.

16. Yeonmi Shin, Seonghoon Lee Self-Organized Regular Arrays of Anodic TiO Nanotubes// Nano Letters. 2008. - Vol. 8 (10). -P. 3171-3173.

17. Sonoda T., Kato M., Katou K., Asahina T. Surface structure of Ti-0 films formed on pure titanium by anodic oxidation //Journal of Physics: Conference Series. -2007. -No. 61. -P.1091-1096.

18. Tsuyoshi Hamaguchi, Masayoshi Uno, Ken Kurosaki, Shinsuke Yamanaka Study on the formation process of titania nanohole arrays//Journal of Alloys and Compounds. -2005. -P.265-269.

19. Raja K.S., Misra M., Paramguru K. Formation of self-ordered nano-tubular structure of anodic oxide layer on titanium// Electrochimica Acta 2005. -No 51. -P. 154-165.

20. Andrei Ghicov, Hiroaki Tsuchiya, Jan M. Macak, Patrik Schmuki Titanium oxide nanotubes prepared in phosphate electrolytes// Electrochemistry Communications. -2005. -No.7. -P. 505-509.

21. Abu Samah Zuruzi, Blaine C Butler, Noel C Macdonald, Cyrus R Safinya Nanostructured Ti02 thin films as porous Cellular interfaces// Nanotechnology. -2006. -No. 17.-P. 531-535.

22. R. Beranek, H. Hildebrand, P. Schmuki Self-Organized Porous Titanium Oxide Prepared in H2SO4 /HF Electrolytes// Electrochemical and Solid-State Letters. -2003. -6(3). -P.B12-B14.

23. Taveira L. V., Macak J. M., Sirotna K., Dick L. F. P., Schmukib P. Voltage Oscillations and Morphology during the Galvanostatic Formation of Self-Organized Ti02 Nanotubes// Journal of The Electrochemical Society. -2006. -153(4). -P. B137-B143.

24. Chuanmin Ruan, Maggie Paulose, Oomman K. Varghese, Gopal K. Mor, Craig A. Grimes Fabrication of Highly Ordered Ti02 Nanotube Arrays Using an Organic Electrolyte// Journal of Physical Chemistry B. -2005. -No.109. -15754-15759.

25. Sonoda T., Kato M., Katou K., Asahina T. Surface structure of Ti-0 films formed on pure titanium by anodic oxidation// Journal of Physics: Conference Series. -2007. -No.61. -1091-1096.

26. Xinsheng Peng, Jingpengwang, Dan F Thomas Aicheng ChenTunable growth of Ti02 nanostructures on Ti substrates//Nanotechnology. -2005. -No. 16. -P.2389-2395.

27. Fathy M. Bayoumi, Badr G. Ateya Formation of self-organized titania nano-tubes by dealloying and anodic oxidation// Electrochemistry Communications. -2006. -No. 8. -P.38-44.

28. Xiaofeng Yu, Yongxiang Li, Wanyin Ge, Qunbao Yang, Nanfei Zhu, Kourosh Kalantar-zadeh Formation of nanoporous titanium oxide films on silicon substrates using an anodization process//Nanotechnology. -2006. -No.17. -P. 808-814.

29. Jan M. Macark, Hiroaki Tsuchiya, Andrej Ghicov, Patrik Schmuki Dye-sensitized anodic Ti02 nanotubes// Electrochemistry Communications. -2005. -No.7. -P. 11331137.

30. Jan M. Macak, K. Sirotna, P. Schmuki Self-organized porous titanium oxide prepared in Na2S04/NaF electrolytes// Electrochimica Acta. -2005. -No. 50. -P. 3679-3684.

31. Taveira L. V., Macâk J. M., Tsuchiya H., Dick L. F. P., Schmuki P. Initiation and Growth of Self-Organized Ti02 nanotubes Anodically Formed in NH4F/(NH4)2S04// Electrolytes Journal of The Electrochemical Society. 2005. - 152(10). - B405-B410.

32. Berger S., Tsuchiya H., Ghicov A., Schmuki P. High photocurrent conversion efficiency in self-organized porous WO3// Applied Physics Letters. -2006. -N0.88. -P.203119.

33. N. R. de Tacconi, Chenthamarakshan C. R., Yogeeswaran G., Watcharenwong A.,

34. Hiroaki Tsuchiya, Jan M. Macak, Irina Sieber, Luciano Taveira, Andrei Ghicov, Kamila Sirotna, Patrik Schmuki Self-organized porous W03 formed in NaF electrolytes// Electrochemistry Communications. -2005. -No. 7. -P. 295-298.

35. Yafeng Guo , Xie Quan , Na Lu , Huimin Zhao , Shuo Chen High Photocatalytic Capability of Self-Assembled nanoporous WO3 with preferential orientation of (002)// Environmental Science & Technology. 2007. -No. 41. -P. 4422-4427.

36. Yuki Oikawa, Koji Fushimi, Yoshitaka Aoki, and Hiroki Habazaki Growth of Porous Anodic Films on Niobium in Hot Phosphate-Glycerol Electrolyte//The Electrochemical Society. -2008. -Vol.16. -No. 3. -P.345-351.

37. Lu Q., Hashimoto T., Skeldon P., Thompson G. E., Habazaki H., Shimizu K. Nanoporous Anodic Niobium Oxide Formed in Phosphate/Glycerol Electrolyte// Electrochemical and Solid-State Letters. -2005. Vol.8. -No. 5. -P. B17-B20.

38. Kovacs K., Kiss G., Stenzel M., and Zillgen H. Anodic Oxidation of Niobium Sheets and Porous Bodies// Journal of The Electrochemical Society. -2003. Vol.150. - N0.8. -P.B361-B366.

39. Sieber H., Hildebrand A., Friedrich, Schmuki P. Formation of self-organized niobium porous oxide on niobium// Electrochemistry Communications. -2005. -No.7. -P. 97100.

40. Sieber I., Hildebrand H., Friedrich A., Schmuki P. Initiation of tantalum oxide pores grown on tantalum by potentiodynamic anodic oxidation // Journal of Electroceramics-2006.-Vol. 16.-P.35-39.

41. Sieber I., Kannan B., and Schmuki P. Self-assembled porous tantalum oxide prepared in H2SO4/HF electrolytes// Electrochemical and Solid-State Letters.- 2005.- Vol.8.-P.10-12.

42. Irina V. Sieber and Patrik Schmuki Porous Tantalum Oxide Prepared by Electrochemical Anodic Oxidation // Journal of The Electrochemical Society.-2005.-Vol. 152.-P. C639-C644.1. J-*

43. Hiroaki Tsuchiya, Patrik Schmuki Self-organized high aspect ratio porous hafnium oxide prepared by electrochemical anodization // Electrochemistry Communications-2005.-Vol.7.-P. 49-52.

44. Steffen Berger, Florian Jakubka, and Patrik Schmuki Self-Ordered Hexagonal Nanoporous Hafnium Oxide and Transition to Aligned Hf02 Nanotube Layers // Electrochemical and Solid-State Letters. -2009.-Vol. 12 P. K45-K48.

45. Hiroaki Tsuchiya, Jan M. Macak, Andrei Ghicov, Luciano Taveira, Patrik Schmuki Self-organized porous Ti02 and Zr02 produced by anodization// Corrosion Science. -2005. -No. 47. -P. 3324-3335.

46. Zainovia Lockman, Syahriza Ismail, Khairunisak Abdul Razak, Lim Shu Lee Effect of Anodisation Parameters on the Formation of Porous Anodic Oxide on Ti, Zr and W//Materials Science and Engineering 2011. -Vol.18. -No.5.

47. Eugeniu Balaur, Jan M. Macak, Luciano Taveira, Patrik Schmuki Tailoring the wettability of Ti02 nanotube layers// Electrochemistry Communications. -2005. -No.7. -P.1066-1070.

48. Andrei Ghicov, Jan M. Macak, Hiroaki Tsuchiya, Julia Kunze, Volker Haeublein, Sebastian Kleber, Patrik Schmuki Ti02 nanotube layers: Dose effects during nitrogen doping by ion implantation// Chemical Physics Letters. -2006. -No.419. -P.426-429.

49. Xie Quan , Shaogui Yang , Xiuli Ruan , Huiming Zhao Preparation of Titania Nanotubes And Their Environmental Applications as Electrode// Environmental Science & Technology. 2005. -No. 39. -P. 3770-3775.

50. Gopal K. Mor, Karthik Shankar, Maggie Paulose, Oomman K. Varghese, Craig A. Grimes Enhanced Photocleavage of Water Using Titania Nanotube Arrays//

51. Nano letters. 2005. - Vol.5. - No. 1. -P. 191-195.

52. Gopal K. Mor, Karthik Shankar, Maggie Paulose, Oomman K. Varghese, Craig A. Grimes Use of Highly-Ordered Ti02 Nanotube Arrays in Dye-Sensitized Solar Cells//Nano letters. -2006. Vol.6. -No.2. -P. 215-218.

53. Andrei Ghicov, Hiroaki Tsuchiya, Robert Hahn, Jan M. Macak, Andres G. Munoz, Patrik Schmuki Ti02 nanotubes: H+insertion and strong electrochromic effects// Electrochemistry Communications. -2006. -No.8. -P.528-532.

54. Vitiello R.P., Macak J.M., Ghicov A., Tsuchiya H„ Dick L.F.P., Schmuki P. N-Doping of anodic Ti02 nanotubes using heat treatment in ammonia// Electrochemistry Communications. -2006. -No.8. -P. 544-548.

55. Beranek R., Tsuchiya H., Sugishima T., Macak J. M., L. Taveira, S. Fujimoto,

56. H. Kisch, P. Schmukic Enhancement and limits of the photoelectrochemical response from anodic Ti02 nanotubes// Applied physics letters. -2005. -No.87. -P.243114-243116.

57. Jong-Ho Lee , Seung-Eon Kim, Young-Jig Kim, Choong-Soo Chi , Han-Jun Oh Effects of microstructure of anodic titania on the formation of bioactive compounds/Materials Chemistry and Physics. -2006. -No. 98. -P.39-43.

58. Xie Z. B., Adams S., Blackwood D. J., Wang J. The effects of anodization parameters on titania nanotube arrays and dye sensitized solar cells// Nanotechnology. -2008. -No. 19.-P. 405701-405708.

59. Busani T., Devine R A B Dielectric and infrared properties of Ti02 films containing anatase and rutilesemicond// Science & Technology. -2005. -No.20. -P. 870-875.

60. Changhao Liang, Kazuya Terabe, Tsuyoshi Hasegawa, Masakazu Aono Resistance Switching in Anodic Oxidized Amorphous Ti02 films//Applied Physics Express 1. -2008. -P. 064002-063005.

61. Cheng-Yu Kuo, Shih-Yuan Lu Fabrication of a multi-scale nanostructure of Ti02 for application in dye-sensitized solar cells//Nanotechnology. -2008. -No. 19. P.095705-095713.

62. Fdi Fonzo, Casari C. S., Russo V., Brunella M.F., Bassi A. Li, Bottani C. E. Hierarchically organized nanostructured Ti02 for photocatalysis applications //Nanotechnology. -2009. -No.20. -P. 015604-015611.

63. Keisuke Nakayama, Takaya Kubo, Yoshinori Nishikitani Ti02 Nanotube Layers on Ti Substrates for High Efficiency Flexible Dye-Sensitized Solar cells applied//Physics Express.-2008.-No. l.-P. 112301-112304.

64. Funk S., Hokkanen В., Burghausa U., Ghicov P. Schmuki Unexpected adsorption of oxygen on Ti02 nanotube arrays: Influence of crystal structure//Nano Letters. 2007. -7 (4).-P. 1091-1094.

65. Gunterschulze A., Betz H. Electrolytic Rectifying Action // Z. Pfys. -1932. -Vol. 78. -P.196-210.

66. Junius D. Edwards and Fred Keller Formation of Anodic Coatings on Aluminum // Trans. Electrochemical Society-1941.-Vol.79.-P.135-142.

67. Keller F., Geisler A.H. Extending Microscopic Examination of Metals // Journal of Applied Physics.- 1944.-Vol.15.-P. 696.

68. Huber K. Die polarisationsoptische Analyse der dispersen Struktur oxydischer Deckschichten auf Aluminium // Helvetica Chimica Acta Volume.-1945.-Vol.28.-P.1416-1420.

69. Young L. Anodic Oxide Films, Academic Press, London. 1961.

70. Францевич И.Н. Анодные оксидные покрытия на металлах и анодная защита. Киев: Наукова думка, 1985 280 с.

71. Siejka J. and Ortega С. Study of field assisted pore formation in compact anodic oxide films on aluminum // Journal of The Electrochemical Society. -1977.-Vol.124.-P. 883-891.

72. O'Sullivan J. P. and Wood G. C. The morphology and mechanism of formation of porous anodic films on aluminum // Proceedings of the Royal Society A.-1970.-Vol. 317.-P. 511-543.

73. Li A., Muller F., Birner A., Nielsch K., Gosele U. An Improved Method To Strip Aluminum from Porous Anodic Alumina Films// Journal of Applied Physics 1998. -Vol. 84.-N.11. -P. 6023-6028.

74. Patermarakis G., Moussoutzanis K. Aluminium anodising in low acidity sulphate baths: growth mechanism and nanostructure of porous anodic films // Corrosion Science.- 2002. -Vol. 44. -P. 17-37.

75. Hui Li, Lingxia Zheng, Shiwei Shu, Hua Cheng, and Yang Yang Li Morphology Control of Anodic Ti02 Nanomaterials via Cold Work Pretreatment of Ti Foils// Journal of The Electrochemical Society. -2011.-Vol.158 (10).-P.C346-C351.

76. Próspero Acevedo-Peña, González I. Influence of the HC104 Concentration Over the Morphology and Growth of Ti02 Anodic Porous Films Formed in 5 mM HF/x M HC104 (0.05 M < x < 1M)// ECS Transactions. -2011. -Vol. 36 (1). -P. 257-265.

77. Parkhutik V. P., Shershulsky V. I. Theoretical modelling of porous oxide growth on aluminium// Journal of Physics D. -1992. Vol.25. -P.12-53.

78. Treverton J. A., Ball J., Johnson D., Vickerman J. C., West R. H. SSIMS, XPS and microstructural studies of ac-phosphoric acid anodic films on aluminium// Surface and Interface Analysis. 1990. -Vol.16. - P. 369.

79. Routkevitch D., Tager A. A., Harujama J., Almawlawi D., Moskovits M., Xu J. M. Nonlithographicnano-wire arrays: fabrication, physics, and device applications/ЯЕЕЕ Trans. Electron Devices. 1996. - Vol. 40. - P.16-46.

80. Keller F., Hunter M.S., Robinson D.L. Structural Features of Oxide Coatings on Aluminum// Electrochem Society. 1953. - Vol.100. - P.411-419.

81. Li A.P., Muller F., Birner A., Nielsch K., Gosele U. Hexagonal Pore Arrays with a hexagonal Ordering on Aluminum // Journal of Vacuum Science & Technology A. -1999. Vol.17. -P.1428-1431.

82. Das В., Mc Ginnis S. Novel template-based semiconductor nanostructures and their applications// Journal of Applied Physics A: Solids Surface. 2000. - Vol. 71. -P. 681-689.

83. Гурский JI. И., Зеленин Б. А. Структура и кинетика взаимодействия металлов с окисляющими средами / Под ред. С. А. Астапчика. Минск: Наука и техника, 1982. - С.192.

84. Сокол В.А. Особенности роста пористого оксида алюминия: доклад Академии Наук. Белоруссия, 1986. - Т.ЗО. -С. 243.

85. Сокол В.А. Особенности Роста Пористого Оксида Алюминия. -Минск: БГУИР, 1987.-С.75-82.

86. Сокол В.А. Особенности роста пористого оксида алюминия// Весщ ан бсср. сер. фю.-тэхн. навук. 1984. -№3. - С. 99-104.

87. Li A., Muller F., Birner A., Nielsch К., Gosele U. An Improved Method To Strip Aluminum from Porous Anodic Alumina Films// Journal of Applied Physics 1998. -Vol. 84.-Noll.-P. 6023.

88. Wu H., Zhang X., Hebert K.R. Atomic Force Microscopy Study of the Initial Stages of Anodic Oxidation of Aluminum in Phosphoric Acid Solution Journal of The Electrochemical Society.- 2000 Vol.147.- PP. 2126-2132.

89. Thamida S.K. and Chang H.-C. Nanoscale Pore Formation Dynamics During Aluminum Anodization// Chaos.-2002.-Vol. 12. -No.l.- P. 240-245.

90. Singh G. K., Golovin A. A., and Aranson I. S. Formation of self-organized nanoscale porous structures in anodic aluminum oxide // Physical Review B. -2006.-Vol.73.-P.205-422.

91. Patermarakis G., Pavlidou C. Catalysis over Porous Anodic Alumina Catalysts // Journal of Catalysis.- 1994.-Vol.147.-P. 140-155.

92. Li A. P., Muller F., Gosele U. Polycrystalline and Monocrystalline Pore Arrays with Large Interpore Distance in Anodic Alumina//Electrochemical and Solid-State Letters. -2000.-No. 3 (3).-P. 131-134.

93. Wehrspohn R.B., Li A.P., Nielsch K., Muller F., Erfurth W., Gosele U. Highly ordered alumina films: pore growth and application//Electrochemical Society Proceedings. -2000. -Vol. 271.

94. Shin S.W., Lee S.G., Lee J., Whang C.N., Lee J.H., Choi I.H., Kim T.G., Song J.H. Ion-beam nano-patterning by using porous anodic alumina as a mask// Nanotechnology. -2005.-Vol. 16.-P. 1392-1395.

95. Liu C.Y., Datta A., Wang Y.L. Ordered anodic alumina nanochannels on focused-ion-beam-prepatterned aluminum surfaces // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 78.- No. 1.- P. 120- 122.

96. Peng C.Y., Liu C.Y., Liu N.W., Wang H., Datta, A., Wang, Y.L. Ideally ordered 10 nm channel arrays grown by anodization of focused-ion-beam patterned aluminum// Journal of Vacuum Science & Technology B. -2005. -Vol.23. -No.2. -P.559-562.

97. Liu C.Y., Datta A., Liu C. Y., Wang Y. L. High-speed Focused-ion-beam Patterning for Guiding the Growth of Anodic Alumina Nanochannel Arrays// Applied Physics Letters. -2003. -Vol. 82. -P.1281-1283.

98. Hideki Masuda, Haruki Yamada, Masahiro Satoh, Hidetaka Asoh, Masashi Nakao,Toshiaki Tamamura Highly ordered nanochannel-array architecture in anodic aluminaII Applied Physics Letters. 1997. - Vol. 71. -No. 19, 10. -P.2770-2772.

99. Matsui Y., Nishio K., Masuda H. Highly Ordered Anodic Porous Alumina by Imprinting Using Ni Molds Prepared from Ordered Array of Polystyrene Particles// Journal of Applied Physics-2005. -Vol.44. -P.7726-7728.

100. Lee W., Ji R., Ross C.A., Gusele U., Nielsch K. Wafer-Scale Ni Imprint Stamps for Porous Alumina Membranes Based on Interference Lithography //Small. -2006. -Vol. 2. -No.8-9. -P. 978-982.

101. Yasui K., Nishio K., Nunokawa H., Masuda H. Ideally ordered anodic porousalumina with sub-50 nm hole intervals based on imprinting using metal molds // Journal of Vacuum Science & Technology B. -2005. -Vol.23. -P. L9-L12.

102. Asoh H., Ono S., Hirose T., Nakao M., Masuda H. Growth of anodic porous alumina with square cells//Electrochim. Acta. -2003. -Vol.48. -P.3171-3174.

103. Asoh H., Ono S., Hirose T., Takatori I., Masuda H. Detailed Observation of Cell Junction in Anodic Porous Alumina with Square Cells// Journal of Applied Physics. -2004. -Vol.43. -P. 6342-6346.

104. Choi J., Wehrspohn R.B., Gusele U. Moire pattern formation on porous alumina arrays using nanoimprint lithography// Journal of Applied Physics. -2003. -Vol. 15. -P. 1531-1534.

105. Choi J., Wehrspohn R.B., Gusele U. Mechanism of guided self-organization producing quasi-monodomain porous alumina// Electrochimical Acta. -2005. -Vol. 50. -P. 2591-2595.

106. Masuda H., Kanezawa K., and Nishio K. Fabrication of ideally ordered nanohole arrays in anodic porous alumina based on nanoindentation using scanning probe microscope // Chemical Letters. 2002. -Vol.31.- P. 1218-1219.

107. Vadim V. Yuzhakov, Hsueh-Chia Chang, Albert E. Miller Pattern formation during electropolishing// Physical Review B. -1997. Vol. 56. -No. 19. -P.12608-12624.

108. Zhang L., Cho H. S., Li F., Metzger R. M., Doyle W. D. Cellular growth of highly ordered porous anodic Films on aluminum// Journal of materials science letters.-! 998.-Vol. 17.-P.291 -294.

109. Montero-Moreno J.M., Sarret M., Müller C. Influence of the aluminum surface on the final results of a two-step anodizing// Surface & Coatings Technology. -2007. -Vol. 201.-P. 6352-6357.

110. Shingubara S., Murakami Y., Morimoto K., Takahagi T. Formation of aluminum nanodot array by combination of nanoindentation and anodic oxidation of aluminum//Surface Science. -2003. -No. 532-535. -P. 317-323.

111. Sun Z., Kim H. K. Growth of ordered, single-domain, aluminum nanopore arrays with holographically patterned aluminum films// Applied Physics Letters-2002. -Vol.81. -P. 3458-3460.

112. Cojocaru C.S., Padovani J.M., Wade T., Mandoli C., Jaskierowicz G., Wegrowe J.E., Fontcuberta i Mortal A., Pribat D. Conformal Anodic Oxidation of Aluminum Thin Films//Nano Letters. -2005. -Vol. 5. -P. 675-680.

113. Li A.P., Muller F., Birner A., Nielsch K. and Gosele U. Fabrication and Microstructuring of Hexagonally Ordered Two-Dimensional Nanopore Arrays in Anodic Alumina// Advanced Materials.-1999. -Vol.11. -No.6. -P. 483^86.

114. Asoh H., Nishio K., Nakao M., Yokoo A., Tammamura T., Masuda H. Fabrication of ideally ordered anodic porous alumina with 63 nm hole periodicity using sulfuric acid// Journal of Vacuum Science & Technology . -2001. -Vol.19. -P569-572.

115. Masuda H., Yotsuya M., Asano M., Nishio K., Nakao M., Yakoo A., Tamamura T. Self-repair of ordered pattern of nanometer dimensions based on self-compensation properties of anodic porous alumina// Applied Physics Letters. -2001. -Vol.78. -P.826-828.

116. Masuda H., Abe A., Nakao M., Yokoo A., Tamamura T., Nishio K. Ordered mosaic nanocomposites in anodic porous alumina// Adv. Mater. -2003. -No.15. -P.161-164.

117. Matsumoto F., Harada M., Nishio K., Masuda, H. Nanometer-Scale Patterning of DNA in Controlled Intervals on a Gold-Disk Array Fabricated Using Ideally Ordered Anodic Porous Alumina// Advanced Materials. -2005. -Vol. 17. -No.13. -P.1609-1612.

118. Jinsub Choia, Ralf B. Wehrspohn, Jaeyoung Lee, Ulrich Gosele Anodization of nanoimprinted titanium: a comparison with formation of porous alumina // Electrochimica Acta 2004 - Vol. 49.- P. 2645-2652.

119. Mozalev A., Sakairi M., Takahashi H. Nano-composite Anodic Films Formed from Ta-Al Bi-layers: Structure, Formation Mechanism and Dielectric Properties// Изв. Белорус, инженер, акад. -2003. -№1.-С. 20-22.

120. Mozalev A., Sakairi М., Saeki I., Takahashi H. Nucleation and growth of nanostructured anodic oxides on tantalum and niobium under the porous alumina film// Electrochimica Acta. -2003. -Vol. 48. -№ 20-22. -P. 3155-3170.

121. Mozalev A., Sakairi M., Takahashi H. Structure, Morphology, and Dielectric Properties of Nanocomposite Oxide Films Formed by Anodizing of Sputter-Deposited Ta-Al Bilayers// Journal of The Electrochemical Society-2004. -Vol. 151. -No.ll. P. 257-268.

122. Mozalev A., Poznyak A., Plihauka A., Hassel A.W. Ionic Transport in Anodically Oxidised Al/Ta Layers During the growth of metal Oxide nanostructures //Sixth international symposium on Electrochemical Micro and Nanosystem Technologies. -2006. -P.72-74.

123. Surganov V., Korkin N. Formation of Nanosize Та Anodic Oxide Juts Through the Porouse A1 Anodic Oxide// International Conference on Solid State Crystals -Material Science and Applications (ICSCC-98)// Studio GIZ. -Warszawa. -1988. -P. 145.

124. Surganov V., Gorokh G.G. Array of niobium Nanotips Formed in Porous Anodic Alumina Matrix// Part of the Symposium on Design, Tests, integration, and Packaging of MEMS/MOEMS. -2000. -Vol. 4019. -P. 526-530.

125. Сурганов В.Ф., Мозалев A.M., Татаренко Н.И., Ласточкина B.A. Исследование состава периодических наноразмерных столбиковых структур анодного оксида титана методом ИК-спектроскопии // Журн. прикл. спектроскопии. -1998. -Т.65. -№2. -С.200-204.

126. Сурганов В.Ф., Мозалев A.M., Ласточкина В.А. ИК- спектроскопическое исследование наноразмерных столбиковых анодных оксидов тантала, сформированных в сернокислом электролите// Журн. прикл. спектроскопии. -2000. -Т.67. -№3. -С. 301-305.

127. Gorokh G.G., Surganov V. Nanoscale matrix Field emission Structures Based on Aluminium and Niobium Anodic Oxides// European Materials Research Society 2000. Spring Meeting: Final Book of Abstracts. -2000. -P. 30-34.

128. В.Ф. Сурганов, A.M. Мозалев Особенности электрохимического анодирования двухслойных тонкопленочных системА1-Та Al-Si (1%)-Та// Докл.АН БССР. -1990. -Т.34. -№4. -С.234-237.

129. Bin Lu, Shravan Bharathulwar, David E. Laughlin, David N. Lambeth Time and orientation dependence of ordering in anodized aluminum for self-organized magnetic arrays//Journal of Applied Physics. -2001. Vol. 87. -No. 9. -P.4721-4723.

130. Sauer G., Brehm G., Schneider S., Nielsch K., Wehrspohn R. В., Choi J., Hofmeister H., Gousele U. Highly ordered monocrystalline silver nanowire arrays//Journal of Applied Physics. -2002. Vol. 91. -No. 5. -P.3243-3247.

131. Nielsch K., F. Muller, Liu G., Wehrpohn R.B., Gosele U., Fischer S.F., Kronmuller H. Magnetic nanowire arrays obtained by electro-deposition in ordered alumina templates//Electrochemical Society Proceedings.-2000.-Vol. 13.

132. Xue Wei Wang, Guang Tao Fei, Peng Tong, Xi Jin Xu, Li De Zhang Structural control and magnetic properties of electrodeposited Co nanowires// Journal of Crystal Growth. -2007. Vol.300. -No.2-P. 421-425.

133. Guoqiang Wang, Chunsheng Shi, Naiqin Zhao, Xiwen Du Synthesis and characterization of Ag nanoparticles assembled in ordered array pores of porous anodic alumina by chemical deposition// Materials Letters. -2007. -Vol. 61. No. 18. -P.3795-3797.

134. Cai-Ling Xu, Hua Li, Guang-Yu Zhao, Hu-Lin Li Electrodeposition and magnetic properties of Ni nanowire arrays on anodic aluminum oxide/Ti/Si substrate// Applied Surface Science. -2006. -Vol.253. -P.1399-1403.

135. Sellmyer D. J., Zheng M .and Skomski R. Magnetism of Fe, Co and Ni nanowires in self-assembled arrays// Journal of Physics: Condensed Matter. -2001. -Vol. 13. -P. R433-R460.

136. Riveros G., Green S., Cortes A., G'omez H., Marotti R.E., Dalchiele E. A. Silver nanowire arrays electrochemically grown into nanoporous anodic alumina templates// Nanotechnology. -2006. -Vol. 17. -P.561-570.

137. Gao C. X., Liu Q. F., Xue D. S. Preparation and characterization of amorphous p-FeOOH nanowire arrays// Journal of Materials Science Letters. -2002. -Vol.21. -P. 1781.

138. Tao Gao, Guowen Meng, Yongtao Tian, Shuhui Sun, Xiong Liu, Lide Zhang Photoluminescence of ZnO nanoparticles loaded into porous anodic alumina hosts// Journal of Physics: Condensed Matter. -2002. -Vol. 14. -P.12651-12656.

139. Routkevitch D., Bigioni T., Moskovits M., Xu J. M. Electrochemical Fabrication of CdS Nano-Wire Arrays in Porous Anodic Aluminum Oxide Templates// Journal of Physical Chemistry B. -1996. -Vol.100. -P. 14037.

140. Changhao Liang, Kazuya Terabe, Tsuyoshi Hasegawa, Masakazu Aono Template synthesis of M/M2S (M=Ag, Cu) hetero-nanowires by electrochemical technique// Solid State Ionics. -2006. -Vol. 177. -P. 2527-2531.

141. Wang Q. et. al. Non-aqueous cathodic electrodeposition of large-scale uniform ZnO nanowire arrays embedded in anodic alumina membrane // Materials Letters 2005-Vol. 59.-P. 1378-1382.

142. Song L. Template-electrodeposition preparation and structural properties of CdS nanowire arrays//Microelectronic Engineering -2006-Vol. 83 -P. 1971-1974.

143. Peng X. S. Synthesis of highly ordered CdSe nanowire arrays embedded in anodic alumina membrane by electrodeposition in ammonia alkaline solution // Chemical Physics Letters- 2001.-Vol. 343.- P. 470-474.

144. Jagminas A., Lichusina S., Kurtinaitiene M., Selskis A. Concentration effect of the solutions for alumina template ac filling by metal arrays. Applied Surface Science. -2003.-Vol.211.-P.194.

145. Heilmann A., Teuscher N., Gumbsch P.: Patent: DE10349471.

146. Inguanta R., Butera M., Sunseri C., Piazza S. Fabrication of metal nano-structures using anodic alumina membranes grown in phosphoric acid solution: Tailoring template morphology//Applied Surface Science. -2007. -Vol.253. -No. 12. -P. 5447-5456.

147. Chu S. Z., Wada K., Inoue S., Todoroki S. Fabrication and characteristics of nanostructures on glass by A1 anodization and electrodeposition// Electrochimica Acta. -2003.-Vol. 48.-P. 31-47.

148. Kornelius Nielsch, Frank Mtiller, An-Ping Li, Ulrich Gosele Uniform Nickel Deposition into Ordered Alumina Pores by Pulsed Electrodeposition// Advanced Materials. 2000. - Vol.12. -No. 8. -P.582-586.

149. Pawlow P. // Zeitschrift fur Physikalische Chemie. 1910. -Bd.65. - No 1. - Bd.68. -No 3. -P.316.

150. Wronski C.R.M. The size dependence of the melting point of small particles of tin // British Journal of Applied Physics. -1967. -Vol.18. No 12. -P.1731-1736.

151. Patterson B.M., Unruh K.M., Shah S.I. Melting and freezing behavior of ultrafine granular metal films // Nanostructured Materials. 1992. - Vol. 1. - P. 65-70.

152. Buffat P. & Borel J.-P. Size effect on the melting temperature of gold particles // Physical Review B. -1976. Vol.13. - No 6. -P.2287.

153. Гусев А.И., Ремпель А.А. Нанокристаллические материалы. М.: Физматлит, 2001.-224 с.

154. Goldstein A.N., Echer СМ., Alivisatos А.Р. Melting in semiconductor nanocrystals // Science. -1992. -Vol.256. -No.5062. -P.1425-1429.

155. Frenken J.W.M., Maree P.M., van der Veen J. Observation of surface-initiated melting // Physical Review B. -1986. -Vol.34. No 11. -P.7506-7512.

156. Ercolessi F., Andreoni V., Tosatti E, Melting of small gold particles: Mechanism and size effectsT // Physical Review Letters. -1991. -Vol.66. No 7. -P.911-919.

157. Frenken J. W.M., van der Veen J. Observation of Surface Melting // Physical Review Letters. -1985. Vol.54. - No 2. -P.134-137.

158. Berry R, Jellinek J., Natanson G, Melting of clusters and melting // Physical Review A. -1984. -Vol.30. -No 3. -P.919-923.

159. Berry R., Wales D. Freezing, melting, spinodals, and clusters // Physical Review Letters. -1989. Vol.63. - No 11. -P. 1156-1160.

160. Iijima S., Ichihashi T. Structural instability of ultrafine particles of metals // Physical Review Letters. -1986. Vol.56. - No 6. -P.616-619.

161. Laurent J. Lewis et. al Melting, freezing, and coalescence of gold nanoclusters // Physical Review Letters. -1997. Vol. 56. -No. 4 -P.448-452.

162. Goldstein A.N. The melting of silicon nanocrystals: Submicron thin-film structures derived from nanocrystal precursors // Applied Physics A. -1996. -Vol.62. -P.33-37.

163. Granqvist C., Hunderi O. Optical properties of ultrafine gold particles // Physical Review B. -1977. Vol.16. - No 8. -P. 3513-3517.

164. Genzel L., Martin T.P., Kreibig U. Dielectric Function and Plasma Resonances of Small Metal Particles // Zeitschrift fur Physik B. -1975. Bd.21. - No 3. - S.339. -P.221-227.

165. Ruppin P., Yatom H. Size and shape effects on the broadening of the plasma resonance absorption in metals // Physica status solidi (b) . 1976. - Vol.74. - No 2. -P.647-651.

166. Kreibig U. Electronic properties of small silver particles: the optical constants and their temperature dependence // Journal of Physics F: Metal Physics. 1974. - Vol.4. -No 7. -P.999-1002.

167. Слэтер Дою. Диэлектрики, полупроводники, металлы. М.: Мир, 1969.

168. Wood D.M., Ashcroft N. W. Quantum size effects in the optical properties of small metallic particles // Physical Review B. 1982. - Vol.25. - No 10. -P. 103-107.

169. Montreal R., P. de Andres and Flores F. Quantum-size effects in the electromagnetic response of small spheres // Journal of Physics C: Solid State Physics. 1985. - Vol.18. -P. 4951-4956.

170. Келдыш JI.B.: Экситоны в полупроводниках, М.: Наука- 1971.-С.5-18.

171. Келдыш Л. В. Электронно-дырочные капли в полупроводниках// УФН.-1970-Т. 100.-№3.-С.514-522.

172. Днепровский B.C. Экситоны перестают быть квазичастицами // Соровский образовательный журнал.-2000.-Т.6.-№8 С.88-92.

173. Кашкаров П.К., Лисаченко М.Г., Шальгина О.А. Фотолюминесценция ионов Ег3+ в слоях квазиупорядоченных кремниевых нанокристаллов в матрице диоксида кремния ЖЭТФ-2003.-Т. 124.-№6.-С. 1255-1258.

174. Efros Al. L. and Rosen М. The electronic structure of semiconductor nanocrystals // Annual Review of Materials Science. 2000 .- Vol. 30. -P. 475-521.

175. Екимов А.И., Онущенко А.А., Эфрос Ал.Л. Квантование энергетического спектра дырок в адиабатическом потенциале электрона // Письма в ЖТФ. 1986. -Т.43. -В.6. -С.292-294.

176. Mittleman D.M., Schoenlein R.W., Shiang J.J. et al. Quantum size dependence of femtosecond electronic dephasing and vibrational dynamics in CdSe nanocrystals // Physical Review B. 1994. -Vol.49. - No 20. -P.14435-14439.

177. Chestnoy N., Harris T. D., Hull R. and Brus L. E. Luminescence and Photophysics of CdS Semiconductor Clusters: The Nature of the Emitting Electronic State// Journal of Physical Chemistry. 1986. -Vol.90. -P.3393-3399.

178. Kanamoria Y., Hane K., Sai H., Yugami H. 100 nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask // Applied Physics Letters. -2001. Vol. 78. -No.2. -P.142-143.

179. Rehn L.E., Kestel B.J., Baldo P.M., Hiller J., McCormick A.W., Birtcher R.C. Self-organized porous-alumina implantation masks for generating nanoscale arrays // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. -2003. -Vol. 206. -P.490-494.

180. Гергель B.A., Гуляев Ю.В., Зеленый А.П., Якупов М.Н. Сверхскоростной электронный дрейф в полевых одноэлекгронных структурах с секционированным каналом // ФТП. 2004. -Т.38. -В.2. -С.237-241.

181. Smirnov V.K., Kibalov D.S., Orlov О.М., Graboshnikov V.V. Technology for nanoperiodic doping of a metal-oxide-semiconductor field-effect transistor channel using a self-forming wave-ordered structure // Nanotechnology. -2003. Vol.14. -P.709-715.

182. Crouse D., Y.-H. Lo, А. Е. Miller, М. Crouse, Self-ordered pore structure of anodized aluminum on silicon and pattern transfer // Applied Physics Letters. -2000. -Vol.76.-No. 1.-P.49-51.

183. J. Liang, H. Chik, A. Yin, J. Xu, Two-dimensional lateral superlattices of nanostructures: Nonlithographic formation by anodic membrane template // Applied Physics Letters. -Vol.91. No. 4. -P.2544-2546.

184. M. Fujita, A. Sugitatsu, T. Uesugi, S. Noda, Fabrication of Indium Phosphide Compound Photonic Crystal by Hydrogen Iodide/Xenon Inductively Coupled Plasma Etching // Applied Physics Letters. -2004. -Vol. 43. No. 11 A. -P. L 1400-L 1402.

185. H. Yugami, T. Yoneta, H. Sai, Fabrication of protonic conductors with nano-structured surface by porous alumina membrane mask // Solid State Ionics. -2002. -Vol.154-155.-P.693- 697.

186. V.V.Dvorkin , N.N. Dzbanovsky , N.V. Suetin, E.A. Poltoratsky , G.S. Rychkov , E.A. Il'ichev, S.A. Gavrilov, Secondary electron emission from CVD diamond films // Diamond and Related Materials. -2003. Vol.12. -P.2208-2218.

187. J.E. Lee, G.W. Fraser, D. Dinsdale, Direct beta autoradiography using microchannel plate (MCP) detectors // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. -1997. -Vol.392.-P.349-353.

188. T. Doll, J. Vuckovic, M. Hochberg, A. Scherer, Low-energy electron beam focusing in self-organized porous alumina vacuum windows // Applied Physics Letters. -2000. -Vol. 76. No. 24. -P.3635-3637.

189. J. Liang, H. Chik, A. Yin, J. Xua Two-dimensional lateral superlattices of nanostructures: Nonlithographic formation by anodic membrane template // Applied Physics Letters. 2002. - Vol. 91. - N. 4. - P. 2544-2546.

190. A.A. Бархударов, C.A. Гаврилов, A.A. Голишников М.Г. Путря Получение матричных наноразмерных структур в кремнии // Известия ВУЗов. Электроника. -2005.-N4-5.-С. 102-106.

191. С.А.Гаврилов, А.Н.Белов А.В.Железнякова, Е.В.Вишникин, Д.А.Кравченко Электрохимические процессы формирования твердотельных наноструктур// Известия вузов. Электроника. 2005. -№4-5. - с.94-97.

192. S.A.Gavrilov, A.N. Belov, A.V.Zheleznyakova, D.Yu.Barabanov, V.I.Shevyakov, E.V. Vishnikin Factors effected on nanoporous anodic alumina. Abstracts of International conference "1С Micro- and nanoelectronics" Moscow-Zvenigorod. -2005. -P. 2-3.

193. S.A.Gavrilov, A.N. Belov, A.V.Zheleznyakova, D.Yu.Barabanov, V.I.Shevyakov, E.V. Vishnikin A.V. Khlynov Factors effected on nanoporous anodic alumina Proceedings ofSPIE- 2006.-Vol. 6260.-P. 626011-1-626011-8.

194. A.H. Белов, С.А. Гаврилов, М.Г. Путря, В.И. Шевяков Нанотехнологии на основе анодных оксидных материалов Известия вузов. Электроника. -2006. №5. -с.93-98.

195. Белов А.Н. Факторы, определяющие степень упорядоченности пористого анодного оксида алюминия // Материалы международной научно-технической конференции ПЭМ-2006, Таганрог. 2006. - с. 197-200.

196. А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, В.И. Шевяков Особенности получения наноструктурированного анодного оксида алюминия Российские нанотехнологии. -2006. -Т.1. -№1-2. -с. 223-227.

197. Белов А.Н., Волосова Ю.В., Гаврилов С.А., Исследование особенностей процесса формирования пористого анодного оксида алюминия. Сб. тезисов 10-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск: УлГУ. -2008. с. 120.

198. А.Н. Белов, С.А. Гаврилов Электрохимические процессы в технологии микро и наноэлектроники, М. Высшее образование 2009. - 257с.

199. Белов А.Н. Методы создания периодических наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов // Сб. тез. Докладов 2-й международной школы-семинара «Наноструктурированные оксидные пленки и покрытия».-Петрозаводск, КГПА.-2010.-С.52-53

200. А.Н.Белов, М.И.Воробьев, С. А.Гаврил ов Моделирование процесса образования пористых анодных оксидов металлов // Сб. трудов 13-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск2011.-с. 9-10.

201. Белов А.Н., Волосова Ю.В., Гаврилов С.А., Редичев E.H., Шевяков В.И. Электрохимический реактор для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников // Нанотехника. 2011. - № 4. - С. 42 - 49.

202. Белов А.Н. Волосова Ю.В., Гаврилов С.А. Влияние геометрических параметров пористых слоев оксида алюминия на характеристики влагочувствительной структуры на его основе// Известия вузов. Электроника-2012.-№ 1.-С. 11-15.

203. Патент РФ № 2324015. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Железнякова A.B., Тихомиров A.A., Тузовский В.К Шевяков В.И. Способ получения пористого анодного оксида алюминия. 2008.

204. Патент РФ № 2332528. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Демидов Ю.А., Железнякова A.B., Шевяков В.И. Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников. -2008.

205. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Шевяков В.И. Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников 2011. Патент РФ №2425182.

206. Long Ba, Wei Sang Li Influence of anodizing conditions on the ordered pore formation in anodic alumina// Journal of Physics D: Applied Physics 2000-Vol. 33.-P. 2527-2531.

207. Патент Японии JP2005264290,2005

208. Патент Канады СА2425296,2003

209. Патент Тайваня TW555891 В, 2003

210. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Хлынов A.B., Орлов И.Ю., Демидов Ю.А. Исследование кинетики образования пористого анодного оксида титана // Материалы международной научно-технической конференции ПЭМ-2006, Таганрог.- 2006.- с. 100.

211. А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, И.Ю. Орлов, В.И. Шевяков Особенности формирования пористых наноструктур анодного оксида титана II Всероссийская конференция по наноматериалам «НАНО-2007», 13-16 марта 2007 г., Новосибирск. -С.353

212. Ю.А. Демидов, И.Ю. Орлов, A.B. Хлынов, С.А. Гаврилов, А.Н. Белов Формирование пористых слоев анодного оксида титана для солнечных элементов Сборник научных трудов «Нанотехнологии в электронике» М. МИЭТ. 2007 . - с. 52-57.

213. A. Belov, A. Dronov, and M. Nazarkin Features of porous anodic titania formation Abstracts of International conférence "1С Micro- and nanoelectronics" Moscow-Zvenigorod. 2007. - P.2-53.

214. А.Н.Белов, А.А.Дронов, М.Ю.Назаркин Исследование закономерностей формирования наноструктурированного оксида титана Сб. трудов 9-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск. 2007. - с. 129.

215. Белов А.Н., Дронов А.А. Исследование механизма образования пористой структуры в анодном оксиде титана. Сб. тез. докл. международной научно-технической конф. «Микроэлектроника и наноинженерия 2008» М. МИЭТ. -2008.-с. 151.

216. А.Н. Белов, С.А. Гаврилов Электрохимические процессы в технологии микро и наноэлектроники, М. Высшее образование 2009. - 257с.

217. А.Н. Белов, А.А. Дронов, И.Ю. Орлов Особенности электрохимического формирования слоев оксида титана с заданными геометрическими параметрами структуры// Известия вузов. Электроника. -2009. №1. - с. 16-21.

218. С.А.Гаврилов, А.А.Дронов, В.И.Шевяков, А.Н.Белов, Э.А.Полторацкий. Пути повышения эффективности солнечных элементов с экстремально тонкимипоглощающими слоями. Российские нанотехнологии. 2009.-Т.4.-№ 3-4. с. 103109.

219. S. A. Gavrilov, A. A. Dronov, V. I. Shevyakov, А. N. Belov and Е. A. Poltoratskii Ways to Increase the Efficiency of solar cells with extremely thin adsorbtion layers // Nanotechnologies in Russia-2009.-Vol.4.-N.3-4.-P.237-243.

220. А.Н. Белов Формирование наноструктурированного оксида титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан // Нанотехника-2010-Т. 21-№ 1.-С. 78-81.

221. Белов А.Н., Гаврилин И.М., Гаврилов С.А., Дронов А.А., Шулятьев А.С. Высокоупорядоченные массивы нанотрубок ТЮ2 в фотоэлектрических преобразователях на гибком носителе// Известия вузов. Электроника 2011.-№2-С. 38-42.

222. А.Н. Белов, Ю.В. Волосова С.А. Гаврилов, А.В. Железнякова, М.Ю.Назаркин, В.И. Шевяков Низкотемпературные методы создания наноструктурированных оксидов титана и цинка с заданной морфологией // Известия вузов. Электроника-2011.- №5.- С. 62-68.

223. Патент РФ № 2404486 Белов А.Н., Гаврилов С.А., Дронов А.А., Назаркин М.Ю., Шевяков В.И. Твердотельный солнечный элемент на гибком носителе. -2011.

224. G.H Kersall and D.J Robbins Thermodinamics of Ti-H20-F(-Fe) systems at 298 К // Journal of Electroanalytical Chemistry.-1990.-Vol.283.-P. 135-157.

225. Nguyen Due Hoal and Sherif A El-Safty Gas nanosensor design packages based on tungsten oxide: mesocages, hollow spheres, and nanowires // Nanotechnology- 2011.-Vol. 22.-P. 485503-485507.

226. G. Gorokh, A. Mozalev, D. Solovei, V. Khatko, E. Llobet, X. Correig Anodic formation of low-aspect-ratio porous alumina films for metal-oxide sensor application // Electrochimica Acta.-2006.-Vol.52- P. 1771-1780.

227. У.Д. Верятин и др. Термодинамические свойства неорганических веществ. Справочник // М.:Атомиздат.-1965.-460 с.

228. Standard thermodynamic properties of chemical substances // CRC PRESS LLC-2000.-58 p.

229. Барон H.M. Краткий справочник физико-химических величин //М.гХимия-1974.-200 с.

230. А.Н.Белов, М.И.Воробьев, С.А.Гаврилов Моделирование процесса образования пористых анодных оксидов металлов // Сб. трудов 13-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск 2011. с. 9-10.

231. Томашов Н.Д., Тюкина М.Н., Заливалов Ф.П. Толстослойное анодирование алюминия и алюминиевых сплавов. // М.:Машиностроение.-1968.-157 стр.

232. Верник С., Пиннер Р. Химическая и электролитическая обработка алюминия и его сплавов. М.:Судпромгиз. - 1960. - 218 с.

233. Шрейдер А. В. Оксидирование алюминия и его сплавов. М.: Металлургиздат. -1960.-220 с.

234. Y. Xu, G.E. Thompson, G.C. Wood, В. Bethune Anion incorporation and migration during barrier film formation on aluminium // Corrosion Science.-1987.-Vol.27.-P. 83102.

235. Thompson G.E., Furneaux R.C., Wood G.C., Richardson J.A. and Goode J.S. Nucleation and growth of porous anodic films on aluminium // Nature- 1978-Vol. 272.-P. 433-435.

236. Thompson G.E. Porous anodic alumina: fabrication, characterization and applications // Thin Solid Films.-1997.- Vol. 297.- P. 192-201.

237. Li F., Zhang L.and Metzger R.M. On the Growth of Highly Ordered Pores in Anodized Aluminum Oxide // Chemistry of Materials. -1998.-Vol.10.-P. 2470-2480.

238. Patermarakis G., Lenas P., Karavassilis, Ch. And Papayiannis G. Kinetics of growth of porous anodic AI2O3 films on A1 metal // Electrochimical Acta 1991- Vol. 36.-P. 709-725.

239. Patermarakis G. Transformation of the overall strict kinetic model governing the growth of porous anodic AI2O3 films on aluminium to a form applicable to the non-stirred bath film growth // Electrochimical Acta.-1996.-Vol. 41.-P. 2601-2611.

240. Patermarakis G.and Papandreadis N. Study on the kinetics of growth of porous anodic A1203 films on A1 metal // Electrochimical Acta.-1993.-Vol. 38.-P. 2351-2361.

241. Patermarakis G.and Tzouvelekis D. Development of a strict kinetic model for the growth of porous anodic AI2O3 films on aluminium // Electrochimical Acta-1994 Vol. 39.-P. 2419-2429.

242. Patermarakis G. and Moussoutzanis K. Mathematical Models for the Anodization Conditions and Structural Features of Porous Anodic A1203 Films on Aluminum // Journal of The Electrochemical Society .-1995,- Vol. 142.-P. 737-743.

243. Patermarakis G.and Moussoutzanis K. A transport phenomenon analysis criterion predicting pitting appearance during al anodization in sulphate electrolysis // Chemical Engineering Communications.-2003.-Vol. 190.-P.1018-1040.

244. Patermarakis G.and Moussoutzanis K. Electrochemical kinetic study on the growth of porous anodic oxide films on aluminium // Electrochimical Acta.-1995.-Vol. 40-P.699-708.

245. Heber K. Studies on porous AI2O3 growth—I. Physical model // Electrochimical Acta.-1978.-Vol. 23.-P. 127-133.

246. Wada K., Shimohira T., Yamada M. and Baba N. Microstructure of porous anodic oxide films on aluminium // Journal of Materials Science.-1986.-Vol. 21.-P.3810-3816.

247. Nelson J.C. and Oriani R.A. Stress generation during anodic oxidation of titanium and aluminum // Corrosion Science.-1993.-Vol. 34.-P. 307-326.

248. Jessensky O., Miiller F.and Gosele U. Self-organized formation of hexagonal pore arrays in anodic alumina // Applied Physics Letters.-Vol. 72.-P. 1173-1175.

249. Hidetsugu Sakaguchi and Jie Zhao Coupled-map-lattice model for spontaneous pore formation in anodic oxidation // Physical Review В.- 2010.-Vol.81.-P.031603.

250. Bezruchko B.P., Prokhorov M.D., Seleznev Ye.P. Oscillation types, multistability, and basins of attractors in symmetrically coupled period-doubling systems // Chaos, Solitons and Fractals.- 2003.- Vol.15.- P.695-711.

251. A.N. Belov, S.A.Gavrilov Synthesis of nanowires by pulsed current electrodeposition Proceedings of SPIE. 2006. -Vol. 6260. -P. 62600Y-1 - 62600Y-8.

252. A.H. Белов Локальное травление кремния с использованием твердой маски пористого оксида аиюминия// Известия вузов. Электроника. -2007. -№1. -с. 11-14.

253. А. N. Belov, S. A. Gavrilov, V. I. Shevyakov Formation of metal nanowires arrays by pulsed electrodeposition Reviews and Short Notes to Nanomeeting//Phisycs, chemistry and application of nanostructures. 2007. -P. 447-450.

254. A.H. Белов, C.A. Гаврилов, В.И. Шевяков Формирование пористых наноструктур в полупроводниках Сб. трудов 9-й международной конф. Опто-,наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы. Ульяновск. 2007. -с. 132.

255. А. N. Belov Local etching of silicon using a solid mask from porous aluminum oxide // Semiconductors.-2008.-Vol. 42.-No. 13.-P.1519-1521.

256. A.H. Белов, A.A. Голишников, Ю.А. Демидов, М.Г. Путря, А.А. Васильев Нанопрофилирование кремния с использованием твердой маски оксида алюминия и комбинированного «сухого» травления //Известия вузов. Электроника. -2009. -№2. с. 39-42.

257. А. N. Belov, Yu. A. Demidov, V. I. Shevyakov, E. N. Redichev Features of non-lithographic formation of periodical nanostructures on silicon Reviews and Short Notes to Nanomeeting //Phisycs, chemistry and application of nanostructures. 2009. -P. 83-87.

258. A. N. Belov, Yu. A. Demidov, M. G. Putrya, A. A. Golishnikov, and A. A. Vasilyev Silicon nanoprofiling with the use of a solid aluminum oxide mask and combined "dry" etching // Semiconductors-2009. -Vol. 43.-N. 13.-P.1660-1662.

259. A.N. Belov, S.A. Gavrilov, V.I. Shevyakov, E.N. Redichev Pulsed electrodeposition of metals into porous anodic alumina // Applied Physics A 2011.-Vol. 102.-N. l.-P. 219-223.

260. Potucek R.K., Rateick R.G.jr., and Birss V.I. Impedance evaluation of anodic barrier oxide characteristics on A1 in the presence of an overlying porous oxide film // The Journal of the Electrochemical Society. 2006.-Vol.153.-P. B304-B310.

261. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты. М.: Атомиздат, 1979. - 264 с.

262. Zhang Z., Li J.C., Jiang Q. Modelling for size-dependent and dimension-dependent melting of nanocrystals // Applied Physics D. 2000. - Vol. 33. - P. 2653-2656.

263. Wu Y., Yang P. Melting and welding semiconductor nanowires in nanotubes // Advanced Materials. 2001. - Vol. 13. - №. 7. - P. 520-523.

264. Киреев B.A. Курс физической химии. M.: Изд. «Химия», 1953. - 979 с.

265. Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский A.M. и др. Физические величины: справочник. -М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.

266. Регель А.Р., Глазов В.М. Физические свойства электронных расплавов. М.: Наука, 1980. - 296 с.

267. Оно С., Кондо С. Молекулярная теория поверхностного натяжения в жидкостях. М.: Изд. Ин. Лит., 1963.-291 с.

268. К. Борен, Д. Хафмен Поглощение и рассеяние света малыми частицами. М.: Мир, 1986.-662 с.

269. Skillman D.C., Berry C.R., Effect of particle shape on the spectral absortion of colloidal silver in gelatin// Journal of Chemical Physics. -1968. -Vol. 48. -P.3297-3304.

270. Stookey S.D., Beall G.H. Pierson J.E. Full-color photosensitive glass// Journal of Applied Physics. -1978. -Vol.49. -P.5114-5123.

271. Wey W.A. Colored glasses. The Society of Glass Technology, Sheffield, England, 1951

272. E.Yablonovitch. Photonic bandgap structures// JOSA В . 1993. -Vol.10. P.283-287.

273. J.D.Joannopoulos, R.D.Mead, J.D.Winn. Photonic crystals. Molding of Flow of Light. Princeton Univ.Press, 1995.-137 p.

274. S. A. Gavrilov, A. A. Dronov, V. I. Shevyakov, А. N. Belov and Е. A. Poltoratskii Ways to Increase the Efficiency of solar cells with extremely thin adsorbtion layers // Nanotechnologies in Russia.-2009.-V.4.-N.3-4.-P.237-243

275. А.Н.Белов, С.А.Гаврилов, И.В. Сагунова, А.А. Тихомиров, Ю.А. Чаплыгин

276. B.И.Шевяков Тестовая структура для определения радиуса кривизны микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии. // Российские нанотехнологии.-2010.-Т.5.-№ 5-6.-С.95-98

277. Белов А.Н., Гаврилин И.М., Гаврилов С.А., Дронов А.А., Шулятьев А.С. Высокоупорядоченные массивы нанотрубок ТЮ2 в фотоэлектрических преобразователях на гибком носителе//Известия вузов. Электроника -2011.-№21. C. 38-42

278. Белов А.Н. Волосова Ю.В., Гаврилов С.А. Влияние геометрических параметров пористых слоев оксида алюминия на характеристики влагочувствительной структуры на его основе// Известия вузов. Электроника.-2012.-№ 1.-С. 11-15.

279. Патент РФ № 2335735 Белов А.Н., Гаврилов С.А., Орлов И.Ю., Тихомиров А.А., Шевяков В.И. Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующей зондовой микроскопии. 2008.

280. D. Lysenkov, Н. Abbas, G. Muller, J. Engstler, К. P. Budna, and J. J. Schneider Electron field emission from carbon nanotubes on porous alumina //Journal of Vacuum Science & Technology B.-2005.- V.23.-P. 809-814

281. Daoai Wang, Lifeng Liu, Yunseok Kim, Zhipeng Huang, Daniel Pantel, Dietrich Hesse, Marin Alexe Fabrication and characterization of extended arrays of Ag2S/Ag nanodot resistive switches // Applied Physics Letters -2011.-V.98.-P. 243109

282. Xue Wei Wang, Guang Tao Fei,, Peng Tong, Xi Jin Xu, Li De Zhang Structural control and magnetic properties of electrodeposited Co nanowires // 2007.-V. 300 P. 421-425

283. Ж.Аш. Датчики измерительных систем. //М.: Мирю- 1992-424с.

284. R.K. Nahar, V.K. Khanna. Ionic doping and inversion of the characteristic of thin film porous AI2O3 humidity sensor. // Sensors and Actuators. 1998 - V. 46. - P. 35-41

285. Lujun Yao, Maojun Zheng, Haibin Li, Li Ma, Wenzhong Shen High-performance humidity sensors based on high-field anodized porous alumina films // Nanotechnology-2009.-V.20.-P. 395501-395505

286. JI. P. Пальтиель, Г. С. Зенин, Н. Ф. Волынец. Физическая химия, поверхностные явления и дисперсные системы: учеб. пособие. СПб.: СЗТУ.-2004.-68 с.

287. Grätzel М. Photoelectrochemical Cells. // Nature.- 2001- V. 414 P. 338-344.

288. Z В Xie, S Adams, D J Blackwood and J Wang The effects of anodization parameters on titania nanotube arrays and dye sensitized solar cells // Nanotechnology-2008.-V. 19.-P. 405701

289. Kaiser I., Ernst K., Fischer Ch.-H., Konenkamp R., Rost С., Sieber I., Lux-Steiner M.Ch. // The eta-solar cell with CuInS2: A photovoltaic cell concept using an extremely thin absorber (eta).// Sol. Energy Mater. Sol. Cells.- 2001.- V. 67.- P. 89-96.

290. Агеев Д.А., Алесковский В.Б., Бисенгалиев P.A., Губайдуллин В.И., Дрозд В.Е., Новиков Б.В., Савченко А.П. // Молекулярное наслаивание 20-пленок и сверхрешеток на основе А2В6.// Физика твердого тела.-1998.-Т. 40- № 5 С. 820821.

291. Gavrilov S., Dittrich Th., Lim В., Belaidi A., Lux-Steiner M. // Ultra-thin charge selective systems based on MeS H (Me = In, Cu, Pb).// Thin Solid Films.- 2008 V.1. X у516.-№20.-P. 7051-7054.

292. Зи С. Физика полупроводниковых приборов. Часть 1. // М: Мир. 1984.456 с.

293. D. Fujita, Н. Itoh, S. Ichimura and Т. Kurosawa. Global standardization of scanning probe microscopy.//Nanotechnology- 2007 V.18.-P. 084002