Разработка технологии получения износостойких твердосмазочных покрытий в магнетронных распылительных системах для узлов трения ДЛА тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.07.05, кандидат технических наук Ушаков, Алексей Михайлович

• Ушаков, Алексей Михайлович
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ушаков, Алексей Михайлович

ВВЕДЕНИЕ.

1. АНАЛИЗ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ТВЕРДОСМАЗОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ (ТСП) И ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ МЕТОДОВ ИХ ФОРМИРОВАНИЯ.

1.1. Принцип работы материалов ТСП и обоснование их выбора.

1.2. Обоснование и выбор магнетронной распылительной системы

МРС) для формирования ТСП. Постановка задачи.

2. ПОСТРОЕНИЕ ФИЗИЧЕСКОЙ И МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛЕЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В МРС И ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИЯ. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИЙ.

2.1. Физическая модель процесса в МРС.

2.2. Моделирование электрических разрядов в магнетронах.

2.3. Особенности конденсации и расчет профиля покрытия, осаждаемого f в планарном и цилиндрическом магнетронах.

2.4. Разработка и анализ конструктивных схем и конструкций магнетронов.

2.5. Обоснование и выбор МРС с планарной дисковой мишенью и её отработка.

3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА МРС. ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ И ИСПЫТАНИЙ.

3.1. Состав экспериментальной установки и средства измерений.

3.2. Методика определения физико-химических свойств покрытия.

3.3. Оборудование и методика квалификационной оценки и определения триботехнических свойств покрытий.

4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ, ИССЛЕДОВАНИЕ И АНАЛИЗ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ И ЭКСПЛУТАЦИОННЫХ СВОЙСТВ ТСП.

4.1. Формирование ТСП из графитовых мишеней и доработка конструкции МРС.

4.2. Формирование ТСП активным распылением и оценка их характеристик.

4.3. Обоснование и выбор ТСП на основе нитрида титана TiN и его характеристики.

4.4. Формирование ТСП на основе нитрида титана TiN реактивным распылением на сплавах и исследование их свойств.

- 4.5. Результаты квалификационной оценки покрытий на сплавах по комплексу методов применительно к авиационным ГТД. f 4.6. Трибологические свойства ТСП на основе TiN на керамике Si3N4.

4.7. Получение композиционного ТСП на базе TiN и свинца РЬ и

4 определение его эксплуатационных свойств.

5. РАЗРАБОТКА ОБОРУДОВАНИЯ И ОПЫТНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МРС ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ.

5.1. Разработка структуры и элементов автоматизированной установки с

5.2. Исследование возможности нанесения покрытия на внутреннюю поверхность труб с помощью магнетрона.

5.3. Разработка конструкции магнетрона с повышенным ресурсом мишени.

5.4. Опытные технологии нанесения высокотемпературных ТСП применительно к узлам авиационных двигателей.

5.5. Опытный технологический процесс и результаты испытаний ТСП на

К базе нитрида титана TiN на образцах и в составе изделий.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологии получения износостойких твердосмазочных покрытий в магнетронных распылительных системах для узлов трения ДЛА»

Изложенное выше определяет актуальность разработки и исследования технологии получения ТСП в магнетронных распылительных системах, разработки моделей рабочих процессов в магнетронных технологических установках получения ТСП, а также методик комплексного исследования физико-химических и эксплуатационных характеристик ТСП, позволяющих подтвердить высокие рабочие свойства разработанной ТС, ее заданный ресурс и надежность.

Цель настоящей работы - разработка и исследование технологии получения ТСП в магнетронных распылительных системах применительно к узлам трения ДЛА.

В соответствии с этим для реализации поставленной цели в работе решаются следующие задачи:

- анализ работы материалов, используемых в качестве ТСП, и обоснование их выбора;

- обоснование и выбор магнетронной системы для формирования ТСП, разработка конструктивных схем МРС;

- разработка математических моделей электрического разряда в МРС;

- анализ особенностей конденсации и расчет профиля покрытия, осаждаемого в цилиндрическом и планарном магнетронах;

- формирование покрытий из различных материалов и обоснованный выбор нитрида титана TiN в качестве ТСП;

- определение и исследование физико-химических и эксплуатационных свойств ТСП на основе нитрида титана TiN;

- разработка элементов оборудования и опытных технологических процессов формирования ТСП на базе TiN и практическая реализация результатов работы.

На защиту выносятся следующие основные положения:

- математические модели электрического разряда в цилиндрическом и планарном магнетронах;

- модель конденсации покрытия и расчет профиля покрытия, осаждаемого в планарном цилиндрическом магнетронах;

- конструктивные схемы магнетронов с повышенным ресурсом мишени;

- опытные технологические процессы формирования ТСП на основе нитрида титана на стали, на керамике Si3N4 и в композиции со свинцом РЬ;

- результаты сравнения физико-химических свойств ТСП на базе нитрида титана, полученных в МРС, с покрытиями полученными другими методами;

- высокие характеристики ТСП по износостойкости и усталости при переменных нагрузках с хорошими трибологическими свойствами;

- результаты практического использования полученных ТСП на базе нитрида титана на элементах двигателей летательных аппаратов в реальных изделиях и в лабораторных условиях (КБ «Энергомаш», ЦИАМ им П.И.Баранова и SEP, Франция).

Заключение диссертации по теме «Тепловые, электроракетные двигатели и энергоустановки летательных аппаратов», Ушаков, Алексей Михайлович

Основные результаты диссертационной работы обсуждены и опубликованы в Материалах IX, X, XI, XII, XIV, XV Международных конференций «Взаимодействие ионов с поверхностью»,Звенигород 1989, 1991, 1993, 1995, 1999, 2001; Материалах Всесоюзного совещания-семинара «Диагностика поверхности ионными пучками», Одесса,1990; Трудах 2-ой Международной конференции « Новые технологии в машиностроении», Украина, Крым,1992; Материалах IV Межрегионального совещания «Радиационная физика твёрдого тела», МГИЭМ, Севастополь, 1994; Трудах 5-ой Международной конференции «Плёнки и покрытия 98», Санкт-Петербург, 1998; Материалах IV Международного симпозиума «Динамические и технологические проблемы механики конструкций и сплошных сред», «Графос», 1999; Материалах VI Всесоюзной научно-практической конференции «Современные технологии в машиностроении» (ВК-9), Пенза, 2003.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.

На основании проведённого исследования можно сделать следующие выводы:

1. С учётом проведённого анализа современного состояния исследований и разработок в области материалов типа твёрдая смазка и методов их нанесения обоснованно выбраны и рекомендованы для использования в ДПА неорганические покрытия на основе графита и соединения с металлической связью (боридов, карбидов и нитридов переходных металлов) и магнетронные распылительные системы как метод их нанесения.

2. Разработаны физические и математические модели электрического разряда в МРС, рассмотрены особенности конденсации и проведены расчёты профиля покрытий, осаждаемых в планарном и цилиндрическом магнетронах, позволяющие проводить оценочные инженерные расчёты конструкций магнетронов, определять значения и границы рабочих параметров.

3. Создана и оснащена средствами измерения экспериментальная установка с МРС, модернизированы методики и оборудование для определения физико-химических и эксплуатационных свойств ТСП, проведён анализ конструктивных схем МРС, обоснован выбор и отработана конструкция планарной МРС.

4. Разработаны основы технологии формирования ТСП на базе титана TiN, определены оптимальные технологические факторы реактивного магнетронного осаждения: массовое соотношение рабочих газов азота N2 и аргона Аг в диапазоне 0,5+0,65, способ предварительной подготовки поверхности и температура положки (£200°С), которые легли в основу разработанных опытных технологических процессов и основных операций формирования ТСП на базе TiN.

5. По разработанной технологии получены наиболее чистые сверхстехиометрические плёнки TiNx, где х находиться в диапазоне 1+1,17 и объёмное содержание TiN в составе плёнки равно -89%.

Показаны удовлетворительная работоспособность плёнок, нанесённых на жаропрочные сплавы при температуре до 1000°С и удельном давлении 50+60 МПа при длительных 15 часовых испытаниях (fmax^0,2, 1=(5+6)-10"8 см3/м-Н). Показана удовлетворительная работоспособность плёнки TiN, нанесённой на керамический материал - нитрид кремния Si3N4 при температуре 200°С и контактном давлении 1,75 МПа.

6. Разработан опытный технологический процесс получения композиционного ТСП: TiN + Pb, улучшившего износостойкость базового материала в 25 раз и плёнки TiN в 7 раз. Испытания TiN + Pb покрытия на фреттинг и на усталость превысили заданные значения 10е и 107 циклов, соответственно. Полученные результаты рекомендованы для использования в опытных разработках КБ «Энергомаш» и SEP, Франция в качестве ТСП для защиты тяжелонагруженных узлов трения ТНА перспективных ЖРД.

7. Разработаны рекомендации и практически реализованы элементы оборудования и опытные технологические процессы с использованием МРС:

- Разработаны структура и отдельные элементы автоматизированной установки с МРС;

- Исследована возможность нанесения покрытия (меди) на внутреннюю поверхность труб с помощью цилиндрической МРС, и эта разработка опробована и рекомендована для защиты магистралей из стали ХН67 от водородной газовой коррозии;

- Разработана конструкция магнетрона и магнитной системы и передана для изготовления и использования в КБ «Арматура», обеспечивающая повышенный ресурс мишени;

- Использованы в разработках отдела химмотологии ЦИАМ им. П.И. Баранова: технологические процессы нанесения плёнок высокотемпературных ТСП, методами плазменной и ионно-плазменной технологии; опытные образцы с покрытиями, в том числе высокотемпературными (до 1000°С) покрытиями для трибологических испытаний; новые узлы трения применительно к машине трения УМТ-1 (модернизация трибологического оборудования ЦИАМ);

- Использованы в КБ «Энергомаш» при разработке и изготовлении динамического уплотнения импульсного типа с тангенциальными питателями насоса жидкого кислорода перспективного двигателя: технологический процесс и режимы нанесения плёнки TiN на торцевую поверхность опорного кольца в МРС при пониженной, контролируемой температуре (< 200°С) нагрева детали; режимы специальной абразивно - струйной обработки для последующего нанесения ТСП на торцевую поверхность ответной детали (ползуна) пары трения.

Акты внедрения приложены в диссертации.

Данная работа выполнялась на кафедре 205 «Технология производства двигателей летательных аппаратов» факультета «Двигатели летательных аппаратов», МАИ.

Выполненные исследования по теме диссертации являются составной частью тематики НИР МАИ в соответствии с координационными планами АН СССР по проблеме «Физика плазмы» (1976-4983). межвузовскими научно-техническими программами «Ионно-плазменная технология» (1986-1990), «Современные проблемы физики плазмы» (1991-1995), «Взаимодействие потоков энергии с веществом» (1989-1992), «Фундаментальные и прикладные проблемы взаимодействия плазмы с поверхностью» (1992-1996), «Взаимодействие атомных частиц с поверхностью - новые методы и технологии» (1998-2000). «Интеллектуальные системы» (1992-1996), «Вакуумное оборудование и технологии» (1993-1995), «Новые технологии и автоматизация производственных процессов» (1995-1996), «Развитие авиационного, космического, наземного и водного транспорта» (1998-1999), «Материаловедение, аналитико-технологическое, информационное обеспечение работ на борту космической станции» (1998-1999), «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники»: подпрограмма «Транспорт» (2000-2002), программой научно-технических работ Комитета по науке и технической политике «Управляемый термоядерный синтез и плазменные процессы» (1991-2002), научно-исследовательской работой выполнявшейся в соответствии с решениями Комиссии при СМ СССР НИР «Измерение МВО» (решение от 05.10.85 № 328) базовым финансированием МАИ и хозяйственными договорами с ЦИАМ им. П.И.Баранова, КБ «Арматура», КБ «Энергомаш» и контрактами с фирмами СЕП (Франция) и Форд Мотор Компани (США), договорами о научно-техническом сотрудничестве с НИИ ТП, Тураевское МКБ «Союз», ЦИАМ им. П.И.Баранова, ВНИЦПВ Госстандарта СССР, АО «Антекс».

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ушаков, Алексей Михайлович, 2003 год

1. Иванов В.А., Вашковец В.В. Композиционные антифрикционные материалы и покрытия, Хабаровск, ХПИ, 1981,104с.

2. Словарь-справочник по трению, износу и смазке деталей машин, Киев: Наукова думка, 1979, 188с.

3. Воронков Б.Д. Подшипники сухого трения, Л.: Машиностроение, Ленинградское отделение, 1979, 224с.

4. Семёнов А.П., Савинский Ю.З. Металлофторопластовые подшипники, М.: Машиностроение, 1979, 192с.

5. J.P. Giltrowt Friction and wear of seif-lubricating composite materials, Composit, 4, 2, 1973, p.55-64.

6. Ярошевич В.П. Белоцерковский М.А. Антифрикционные покрытия из металлических порошков, Минск, Наука и техника, 1981, 174с.

7. Майорова Л.А. Твёрдые неорганические вещества в качестве неорганических высокотемпературных смазок, М.: Наука, 1971.

8. Матвеевский P.M. Температурная стойкость граничных смазочных слоёв и твёрдых смазочных покрытий при трении металлов и сплавов, М.: Наука, 1971.

9. Кутьков А.А., Щеголев В.А. Структурно-кинетические аспекты антифрикционности материалов. Трение и износ, т.1, №2,1982, с 209-216.

10. Апарин В.И, Духовский Е.А, Зайцев Л.М. Исследование основных закономерностей трения графита, Трение и износ, т.2, №5, 1981.

11. Семёнов А.П. Создание антифрикционных и износостойких покрытий и слоёв на поверхностях трения деталей машин новыми методами, Трение и износ, т.2, №2, 1981 г, с. 212-220.

12. Кацура А.А., Кондратьев И.А., Семёнов А.П., Златкис A.M. О возможности применения антифрикционных материалов в подшипниках с газовой смазкой, Трение и износ, т.З, №1,1982.

13. Брейтуэйт Е.Р. Твёрдые смазочные материалы и антифрикционные покрытия, М.: Химия, 1967.

14. Кутьков А.А. Износостойкие и антифрикционные покрытия, М.: Машиностроение, 1976.

15. Вайштейн В.Э., Трояновская Г.И. Сухие смазки самосмазывающие материалы, М.: Машиностроение, 1968.

16. Воронков Б.А. Подшипники сухого трения, Л.: Машиностроение, 1979.

17. Марченко Е.А., Сергеева J1.M. Некоторые пути улучшения свойств твёрдых смазочных материалов на основе дихалькогенидов тугоплавких материалов. Трение и износ, т.З, №4, 1982.

18. Лобова Т.А. Трояновская Г.И. Исследования и перспективы применения самосмазывающих материалов на основе дихалькогенидов тугоплавких материалов, М.: Машиностроение, 1968.

19. Мс. Murtrey Е.Н. Lubrication Handbook for the Space Industry, Part A: Solid lubricant II NASA TM 86556, NASA George C.Marshall Space Flight Center, Huntsville, Ah, 1985, 275c.

20. Hilton M.R., Fleischner P.D. Applications of solid lubricant films in spacecraft // Surface and coating Tehnology, 54/55, 1992, p. 435-441.

21. Skopp A., Woydt М. Ceramic-ceramic composite materials with improved friction and wear properties. Tribology International, 1992, v.25, №1. p.61-70.

22. Дроздов Ю.Н., Павлов В.Г., Пучков В.Н. Трение и износ в экспериментальных условиях. Справочник -М.: Машиностроение, 1986, 224с.

23. Твёрдые смазочные покрытия, сб. статей «Наука», Москва, 1977г.

24. Усов Л.Н., Борисенко А.Н. Применение плазмы для получения высокотемпературных покрытий, М.: Наука, 1965.

25. Плешивцев Н.В. Катодное распыление, М.: Атомиздат, 1968.

26. Григорьев А.П. Семёнов А.П., Петров В.П. Смазка катодными плёнками дисульфида молибдена. Вестник машиностроения, №4,1974, с.48-50.

27. Лесневский Л.Н., Мышелов Е.П., Рычков Б.А. Вакуумно-плазменная технология получения слоев деталей машин, в сб. «Поверхностный слой, точность и эксплуатационные свойства деталей машин и приборов», МДНТП, М, 1984.

28. Денисов В.И., Лесневский Л.Н., Мышелов Е.П., Потокин И.П., Рычков Б.А., Ушаков A.M., Хованский А.О. «Отчёт о научно-исследовательской работе по теме №205-06 «П», 1984, 51с.

29. Mattox D.M. Fundamentals of ion plating J.Vac.Sci.and Technol., 1973, v.10, N1, p.47-53.

30. Мовчан Б.А., Малашенко И.С. Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме. Киев, Наукова думка, 1983, 232 с.

31. Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. М.: Машиностроение. 1987, 208 с.

32. Colligon J.S. Application of ion-beam-assisted deposition. Material Science and Engineering, A139 (1991), p.199-206.

33. Sproul W.D., Matthews A. Lecture notes "Hard Coatings by PVD Methods".- Hull, UK, 25th-26th July, 1991.

34. Hedenquist P. Evaluation of vapour-deposited coatings for improved wear resistance. Doctoral dissertation at Uppsala University, 1991, 40 p.

35. Современные методы упрочнения поверхностей деталей машин, /под редакцией академика К.Ф. Фролова Сборник «Научно-технический прогресс в машиностроении», вып.9, М.: МЦНТИ, 1989, 286с.

36. Дородное A.M. Технологические плазменные ускорители и их промышленное применение. Труды МВТУ, 1987. №355, с.73-87.

37. Voronov I.D., Ivanov G.V., Lesnevsky L.N. et al. Optical investigation of pulsed discharge in errosive cell. Proceeding of the XIIGPIG, Prague, 1973, p.404.

38. Alexandrov V.A., Gomilka L.A., Lesnevsky L.N. et al. Pulse plasma flow parameters investigation. Proceeding of the XII IGPIG, Eindhoven, 1975, p.200.

39. Gomilka L.A. Ivanov G.V., Lesnevsky L.N., Popov G.A., Turin V.N. Volume and time distribution parameters of pulse plasma jets. Proceeding of the XIII IGPIG, Berline, v.2, 1977, p.567-568.

40. Window В., Savvides N., J. Vac. Sci. and Technol., A4(1986), p.196.

41. Window В., Sawides N., J. Vac. Sci. and Techno!., A4(1986), p.453.

42. Window В., Savvides N., J. Vac. Sci. and Technol., A4(1986), p.504.

43. Лабунов B.H., Данилович Н.И., Громов В.В. Многопучковые ионные источники для систем ионного травления. Зарубежная электронная техника, 1982, вып.З (251), с.82-120.

44. Лабунов В.Н., Рейссе Г. Ионно-лучевые источники длй обработки поверхности твердых тел и получения тонких пленок. Зарубежная электронная техника, 1982, вып. 1(247), с.3-42.

45. Rovel P.J., Evans А.С. Ion beam etching using sadle field sources Thin Solid Films, 1981, v.86, N2, p. 117-123.

46. Ким В.П., Киреев В.Ю., Назаров Д.А. Ионно-лучевое и реактивное ионно-лучевое травление материалов ионами низких энергий. Электронная техника, 1983, сер.З, вып.3(105), с.69-73.

47. Беспалов Б.А., Егоров В.В., Ким В.П. и др. Особенности работы ускорителя с замкнутым дрейфом электронов и протяженной зоной ускорения на активных газах. Электронная техника, 1984, сер.З, вып.5 (111), с.59-66.

48. Алейников Е.А., Резвый Р.В., Синарев М.С. Исследование поверхности кремния после ионно-химического травления. Электронная техника, 1981, сер.2, вып.8 (131), с.61-65.

49. Матвеев Ю.А., Мкртичан М.А., Тригубович Т.Н., Щербина С.М. Ионно -химическое травление: количественный состав и кристаллическая структура поверхностных слоев полупроводников. Электронная техника, 1982, сер.2, вып.5 (136), с.39-63.

50. Majevic V.I. Hollow cathode magnetron discharge. Phys. Lett., 1982, v.A92, N9, p.39-40.

51. Lin L, Ming-Shing Wu. Hollow oval magnetron for large-area low-energy ions. -J.Appl. Phys., 1986, v.60, N6, p.1949-1931.

52. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989, 328 с. ,

53. Greene J.E. Low energy ion bombardment during film deposition from the vapour phase: effects on microstructure and microchemistry. Ibid, 1987, v.30, N4, p. 113122.

54. Воронин H.A., Григоров A.H., Семёнов А.П., Яковлев И.В. Твёрдые смазочные покрытия наносимые распылением ионами. В сб. «Твёрдые смазочные покрытия», М.: Наука, 1977,112с.

55. Данилин Б.С. Нанесение тонких плёнок в производстве интегральных микросхем (современное состояние и перспективы) в сб. «Итоги науки и техники» серия «Электроника», том 16, ВИНИТИ, Москва, 1984.

56. Лесневский Л.Н., Ушаков A.M., Оценка параметров плазмы в планарной магнетронной распылительной системе// Материалы XV-ой Междунаролной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2001» (ВИП-2001), т.2, Звенигород, М.: МАИ, 2001, с.346-349.

57. Райзер Ю.П. Физика газового разряда, М.: Наука, 1992, 532 с.

58. Данилин П.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы, М.: Радио и связь, 1982, с.72.

59. Лабунов В.А., Данилович Н.И., Укаусов А.С., Минайчев В.Е. Современные магнетронные распылительные устройства// Зарубежная электронная техника, 1982, вып. 10 (256), с.3-62.182

60. Данилин Б.С., Неволин В.К., Сырчин В.К. Исследование разряда в магнетронных системах ионного распыления.// Электронная техника , Сер., Микроэлектроника, вып. 3 (69), 1977, 343с.

61. Плешивцев Н.В. Катодное распыление, М.: Атомиздат, 1968, 343с.

62. ДанилинБ.С., Неволин В.К., Сырчин В.К. Исследование магнетронной системы ионного распыления материалов.// Физика и химия обработки материалов, вып.2., 1978, с.33-39.

63. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок//Энергоатомиздат, 1989, 328с.

64. Пакулин В.Н. Оценка тока скрещенных ЕХВ полях.// Сб. «Вопросы атомной науки и техники», Сер. «Общая и ядерная физика», ХФТИ, 1981, вып.1 (15), с. 19-21.

65. Солдатенко А.И. К теории катодного падения потенциала тлеющего разряда в поперечном магнитном поле.// Известия ВУЗов, Радиофизика, 1974, т. 17, №12, с.1879-1884.

66. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА // М.: Высшая школа, 1987, с. 376.

67. Трофимов В.И. и др. Кинетика вакуумной конденсации плёнки по механизму независимого латерального и нормального роста.// Поверхность, 1985, №8, с.60-65.

68. Комник Ю.Ф. Физика металлических плёнок.// М.: Атомиздат, 1979, 263с.

69. Технология тонких плёнок (справочник) Под ред. Л. Майссела, В. Глэнга. Пер. с англ., М.: Советское радио, т.1,1977, 664с.

70. Лесневский Л.Н., Алиев М.А., Егоров И.И., Новиков Н.Н., Ушаков A.M. и др. Отчёт о научно исследовательской работе по теме № 205-04 «П», МАИ, 1986, 101с.183технологические процессы в авиадвигателестроении», М.: МАИ, 1991, с.30-34.

71. Шиллер С., Хейсиг.У, Гедике К. Роль системы плазмотрон-магнетрон втехнологии нанесения покрытий путём осаждения из газовой фазы.// Thin Solid

72. Films, т.54, №1,1998, с.33-47.

73. Распыление твёрдых тел ионной бомбардировкой, пер. с англ. Р. Периша./ М.: Мир, 1984.

74. Каталог фирмы «Alcatel», Франция, 1986, 103с.

75. Патент США №4.448.653, 1985. 17с.

76. Keiser J., Kukla R., Geisler M. Improved planar magnetron cathode // Proceeding of International Conference on Plasma Science and Technology, China, 1986, p.578-588.

77. Патент Великобритании №2.090, 1987. 12c.

78. Толщиномеры вихретоковые ГСП ВТ-10НЦ. Паспорт На 2.778.222ПС, завод «Контрольприбор», 1984, 31с.

79. Покрытия металлические и неметаллические неорганические. Методы контроля. ГОСТ 9.302-88

80. Измерение микротвёрдости материалов ГОСТ 9450-76f 84. Электронная и ионная спектроскопия твёрдых тел. Под редакцией Л. Фирменса, Дж. Вэнника, В. Дэкейсера, М.: Мир, 1981, 467с.

81. Ковалёв А.И., Щербединский Т.В. Современные методы исследования поверхности металлов и сплавов, М.: Металлургия, 1989,191с.

82. Гоулстейн Дж., Ньюберн Д., Эчлин П. И др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. В 2-х книгах, М.: Мир, 1984, 303с. (кн.1), 348с. (кн.2).

83. Бернер А.И., Гимельфарт Ф.А., Ухорская Т.А. Метрологические аспекты рентгеноспектрального анализа. Журнал аналитической химии, 37, №2,1982, с.338-348.

84. ЗигбанК., Нордлинг К. и др. Электронная спектроскопия, М.: Мир, 1971,493с.

85. Черпин В.Т., Васильев М.А. Методы приборы для анализа поверхностиматериалов. Справочник, Киев: Наукова Думка, 1982, 399с.

86. Perry A.J., Georgson M.G., Sproul W.D. Thin Solid Films, 157,1988, p.255-265.

87. Профилограф-профилометр 201TC. Техническое описание и инструкция по эксплуатации. Завод «Калибр», 1975.

88. Кончиц В.В., Мешков В.В., Мышкин Н.К. Триботехника электрических контактов, Минск, 1986.

89. Лесневский Л.Н., Мышелов Е.П., Ушаков A.M. Отчёт по научно-исследовательской работе по теме №24170, М.: МАИ, 1988, 73с.

90. Егоров И.И., Лесневский Л.Н., Ушаков A.M. Получение покрытий типа «твёрдая смазка» в магнетронных распылительных системах.// Сборник «Поверхностный слой, эксплуатационные свойства и надёжность машин и приборов», Материалы семинара МДНТП, 1989, с.71-73.

91. Лесневский Л.Н., Ушаков A.M. Особенности распыления мишеней из графита в магнетронных распылительных системах // Материалы IX-ой Всесоюзной конференции «Взаимодействие атомных частиц с твёрдым телом», Москва,1989, с.48-49.

92. Лесневский Л.Н., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. Изучение закономерностей распыления поверхностей мишеней в магнетроне.// Материалы Всесоюзного совещания семинара «Диагностика поверхности ионными пучками», Одесса,1990.

93. Рыжов Ю.А., Шкарбан И.И., Лесневский Л.Н., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. и др. Отчёт по научно-исследовательской работе по теме №204-12 «П», 1990, 87с.

94. Лесневский Л.Н., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. Эффективность распыления мишеней в магнетроне в зависимости от параметров разряда.// Материалы X Всесоюзной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью», Звенигород, 1991, с.98-99.

95. Lesnevskiy L.N., Tyurin V.N., Oushakov A.M. Sputtering in magnetron discharge at different operating parameters.//Vacuum, G.B., v44, №9, 1993, p.94.

96. Hollek H. «Journal of Vacuum Science and Technology А» (USA), 4, v6, 1986, p. 2661-2669.

97. Knotek O., Bohmer M., Leyendecker T. «Journal of Vacuum Science and Technology А» (USA), 4, №6,1986, p.2645-2700.

98. Березников В.И., Вахминцев Г.Г., Голощанов Э.А., Дуденков В.Г., Лесневский 9 Л.Н., Мышелов Е.П., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. // Отчёт по научноисследовательской работе, тема №595-01 «П», 1990, 85с.

99. Kelly P.J., Arnell R.D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications.// Vacuum, 2000, 56. p.159-172.

100. Сундгрен Я.Е. Микроструктура и свойства нитридных и карбидных покрытий.// Материалы симпозиума ГКНТ СССР и фирмы «Лейбод-Хереус», (ФРГ), М.: 1985, с. 1-25.

101. Кальнер В.Д., Ковригин В.А., Ярембаш И.Е. Структура и свойства нитридных покрытий на инструментальных сталях. Металловедение и термическая обработка металлов, 1980, N9, с.56-58.

102. Гордиенко А. Анализ влияния фазового состава покрытий из нитрида титана на эксплуатационные характеристики режущих инструментов. Zesz.Nauk.Prozn.Mech., 1991, N36, с. 101-109.

103. Кипарисов С.С., Левинский Ю.В. Азотирование тугоплавких металлов, М.: Металлургия, 1972, 160 с.

104. Molarius J.M., Korhoven A.S. Ti-N phases formed by reactive ion plating. J. Vac. Sci. and Technol., A, 1985, v.3, N6, p.2419-2425.

105. Matthews A. Developments in ionization assisted processes J.Vac.Sci and Technol, A., 1985, v.3, N6, p.2354-2363.

106. Halig K.H. J. Vac. Sci. and Technol., A, 1986, v.4, N6, p.2832-2843.

107. Станислав И., Сикач И., Чермак М. Магнетронное нанесение слоев нитрида титана и их основные свойства. Arch. Nutu., 1988, 33, N4, с.537-543.

108. Sproul W.D., Rudnik P.J., Graham M.E. The effect of N2 partial pressure deposition rate and substrate bias potential on the hardness and texture of reactively sputtered TiN coatings. Surf, and Coat. Technol., 1989, 39-40, N1-3, p.333-363.

109. Можаев В.Ф., Фукс-Рабинович Г.С., Досбаева Г.К., Скворцов В.Н. Вязкость и пластичность ионно-плазменных покрытий из нитрида титана. -Заводская лаборатория, 1990, 56, N1, с.57-59.

110. Фукс-Рабинович Г.С., Кацура А.А., Можаев В.Ф., Досбаева Г.К. Влияние фазового состава на износостойкость ионно-плазменных покрытий из нитрида титана. Трение и износ, 1989, т. 10, N4, с.742-744.

111. Фукс-Рабинович Г.С., Контер Л.Я., Кацура А.А., Досбаева Г.К. Влияние ионно-плазменных покрытий из нитрида титана на износостойкость и контактную выносливость высоколегированных подшипниковых сталей. Трение и износ, 1991, т.12, N2, с.306-309.

112. Thornton J.A. Influence of substrate temperature and deposition rate on structure of thick sputtered Cu coatings. J.Vac.Sci. and Technol, 1975, v. 12, N4, p.830-835.

113. Порошковая металлургия и напыленные покрытия. Под ред. Б.С.Митина. М.: Металлургия, 1987, 792 с.

114. Васильев Л.А., Лесневский Л.Н., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. Особенности формирования и исследование состава плёнок нитрида титана.// Материалы Xl-ой Конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью», М.: 1993, с.170-174.

115. Лесневский Л.Н., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. Характеристика кристаллической структуры плёнок TiNx формирующихся в процессе ионного осаждения.// Материалы 12-ой Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью», Москва, 1995, с.251.

116. Colligon J.S., Kheyrandish Н., Lesnevskiy L.N., Naumkin A., Pogosin A., Shkarban I.I. Yurasova V.E. Composition and chemical state of titanium nitride films obtained by different methods // Surface and Coating Technology, 1994,70, p.9-17.

117. Технический материал фирмы Enola Technology по применению твёрдых смазочных покрытий , 1987, 5с.

118. Экспресс-информация ЦИАМ, №9, 1989, с.408-411.

119. Кондратьев В.А., Лесневский Л.Н., Тюрин В.Н., Ушаков A.M. Анализ состава и триботехнические характеристики износостойкого покрытия TiN на сплавах и керамике при сухом трении // «Проблемы машиностроения и надёжности машин», № , 2003, (в печати).

120. Lesnevskiy L.N., Tyurin V.N., Oushakov A.M. Plasma coating TiN+Pb. Report (Draft Papers) of MAI-SEP Contract №6-92, 1994, 12p.

121. Абгарян В.К., Алиев М.А., Егоров И.И., Лесневский Л.Н., Ушаков A.M. и др. Отчёт по научно-исследовательской работе по теме №204-91-к2/205, МАИ, 1991,72с.