Научно-технологические основы разработки полусферических резонаторов волновых твердотельных гироскопов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.03, доктор технических наук Лунин, Борис Сергеевич

• Лунин, Борис Сергеевич
• доктор технических наук
• 2006

Оглавление диссертации доктор технических наук Лунин, Борис Сергеевич

Введение

Глава 1. Современное состояние и проблемы развития ВТГ

1.1. Проблемы повышения точности ВТГ

1.2. Конструкция ВТГ и ее влияние на характеристики

1.3. Себестоимость ВТГ и пути ее снижения 51 Выводы к главе

Глава 2. Разработка методов исследования характеристик высокодобротных резонаторов ВТГ

2.1. Разработка метода измерения внутреннего трения

2.2. Разработка методов измерения частотных характеристик полусферических резонаторов

2.3. Измерение прецессии стоячей волны в резонаторе в составе ВТГ

Выводы к главе

Глава 3. Разработка методов уменьшения внутреннего трения в материале резонатора

3.1. Особенности структуры и диссипативные процессы в кварцевом стекле

3.2. Уменьшение внутреннего трения в резонаторах из кварцевого стекла

3.2.1. Уменьшение внутреннего трения в поверхностном слое

3.2.2. Уменьшение влияния адсорбции атмосферной воды на характеристики резонатора

3.2.3. Уменьшение внутреннего трения в структуре кварцевого стекла

3.3. Уменьшение внутреннего трения в металлических резонаторах

Выводы к главе

Глава 4. Разработка метода балансировки полусферических резонаторов

4.1. Определение параметров массового дисбаланса полусферических резонаторов

4.2. Удаление неуравновешенной массы

4.3. Уменьшение расщепления собственных частот резонатора

4.4. Уменьшение 1-^3-й гармоник массового дефекта резонатора

Выводы к главе

Глава 5. Разработка методов уменьшения влияния металлического покрытия резонатора на характеристики ВТГ

5.1. Влияние металлического покрытия на характеристики полусферического резонатора ВТГ

5.2. Влияние условий формирования тонких пленок на их структуру и свойства

5.3. Разработка метода нанесения равмерного металлического покрытия с малой диссипацией

5.3.1. Разработка метода металлизации полусферического резонатора

5.3.2. Уменьшение внутреннего трения в металлическом покрытии

5.4. Уменьшение внутреннего трения, связанного с адсорбцией атмосферной воды на металлическом покрытии

Выводы к главе

Глава 6. Разработка полусферических резонаторов ВТГ

6.1. Разработка резонатора ВТГ инклинометра забойной телеметрической системы

6.2. Разработка резонатора ВТГ, работающего на колебаниях с высоким номером моды

6.3. Разработка резонатора ВТГ с плоским блоком электродов 321 Выводы к главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Научно-технологические основы разработки полусферических резонаторов волновых твердотельных гироскопов»

9

Быстрое развитие средств навигации является одним из ведущих направлений технического прогресса. Этот процесс характеризуется с одной стороны появлением целого ряда навигационных устройств, основанных на новых принципах (спутниковые навигационные системы, микромеханические, оптические гироскопы и т.д.); с другой - широким их применением во множестве областей, охватывающих все стороны жизни современного общества. Сейчас они применяются в промышленных роботах, управляемых головках нефтебурового оборудования, активных подвесках автомобилей, индивидуальных определителях координат, используемых для ориентации на местности, шлемах виртуальной реальности и т. д., став наряду с компьютеризацией современного общества, одним из основных компонентов информационной среды.

Сегодня к навигационным приборам предъявляются гораздо более жесткие требования. Они должны работать в тяжелых условиях внешней среды, иметь высокую надежность, длительный рабочий ресурс, высокую точность, обладать небольшой массой, габаритами и энергопотреблением. Хотя характеристики механических гироскопов последовательно улучшались на протяжении десятилетий, они не отвечают сегодняшним требованиям по ряду параметров, принципиальное улучшение которых связывается разработчиками с твердотельными гироскопами нового поколения: волновым твердотельным гироскопом (ВТГ) и оптическими -кольцевым лазерным гироскопом (КЛГ) и волоконно-оптическим гироскопом (ВОГ). Все эти приборы разрабатывались с начала 70-х годов и находятся сейчас на различных стадиях промышленного освоения.

КЛГ имеет высокую точность, однако ему присущи серьезные недостатки:

- нелинейность выходного сигнала при малой угловой скорости;

- дрейф выходного сигнала из-за газовых потоков в лазере;

- ограничение рабочего ресурса ресурсом лазера.

Из этих проблем самой важной является первая. При малых угловых скоростях уменьшается разность частот генерируемых световых волн, это приводит к синхронизму и невозможности обнаружения вращения. (Типичный порог обнаружения при этом составляет 10 град/ч.) Для подавления синхронизма оптическая система приводится к колебаниям, но конструкция КЛГ при этом сильно усложняется.

ВОГ свободны от явления синхронизма, но для получения высокой чувствительности в ВОГ требуется большая длина оптического пути (до десятков км) при очень низком уровне потерь в оптоволокне. Как и для КЛГ, ресурс ВОГ ограничивается ресурсом источника света. К недостаткам ВОГ также следует отнести температурную зависимость выходных характеристик.

В основе работы волнового твердотельного гироскопа лежит явление инертности упругих волн, впервые открытое британским физиком Брайаном в конце XIX века. Он показал, что скорость вращения стоячей волны в тонком кольце, совершающем изгибные колебания, меньше скорости вращения самого кольца. Почти через 100 лет Д.Д.Линч продемонстрировал, что эффект Брайана может быть использован для построения датчика углового перемещения. В разработанной Линчем конструкции ВТГ в качестве чувствительного элемента используется тонкостенный полусферический резонатор, изготовленный из кварцевого стекла. Изгибные колебания его кромки идентичны колебаниям тонкого кольца и подчиняются тем же закономерностям. Поддержание амплитуды колебаний кромки резонатора на постоянном уровне осуществляется электрическим полем, создаваемым кольцевым электродом возбуждения, измерение параметров стоячей волны и подавление квадратурных колебаний - емкостными преобразователями. Все три основные детали ВТГ соединены между собой и помещены в герметичный корпус. Для определения параметров стоячей волны и поддержания постоянной амплитуды колебаний используется специальная электронная система.

Своеобразный принцип работы дает новому гироскопу ряд преимуществ:

- в ВТГ полностью отсутствуют изнашивающиеся части, поэтому рабочий ресурс прибора оказывается очень большим;

- высокая точность;

- устойчивость к тяжелым условиям окружающей среды (повышенная температура, вибрация, гамма-излучение);

- сравнительно небольшие габариты, вес и потребляемая мощность;

- сохранение инерциальной информации при кратковременном отключении электропитания.

В табл. 1 представлены основные параметры чувствительных элементов твердотельных гироскопов в сравнении с динамически настраиваемым гироскопом типа КИНД 05-49 [1]. Сравнение этих характеристик показывает, что ВТГ имеет ряд серьезных преимуществ перед КЛГ и ВОГ. Оптические гироскопы имеют сложную, многодетальную конструкцию, а их ресурс существенно ограничивается ресурсом источника света. В отличие от них, ВТГ имеет простую конструкцию, включающую три (а иногда и две) основные части: резонатор и платы возбуждения и съема, которые соединяются вместе и устанавливаются в герметичный корпус, качество которого и определяет рабочий ресурс прибора. В ВТГ стоячая волна может быть устойчива достаточно долгое время (минуты) при выключении электропитания и все это время ВТГ сохраняет инерциальную информацию.

Таблица 1.

Сравнительные характеристики гироскопов разных типов

ДНГ КИНД 05-49 КЛГ вог ВТГ

Принцип действия Вращающийся ротор Движение электромагнитных волн в оптическом контуре Движение электромагнитных волн в оптическом контуре Инертные свойства упругих волн в тонкой оболочке

Конструкция гироскопа Ротор с упругими тор-сионами, электропривод, датчики угла и момента, подшипниковые опоры Кварцевый блок с зеркалами. После сборки заполняется He-Ne смесью. Фотодетектор Катушка световолок-на, источник света, фазовый модулятор, фотодетектор Полусферический резонатор, емкостные датчики для возбуждения колебаний и считывания их параметров, герметичный корпус

Электроника гироскопа Привод ротора, термостатирование Преобразование светового сигнала в электрический Преобразование светового сигнала в электрический Измерение параметров стоячей волны и управление колебаниями

Сохранение информации Нет Нет, если отключен источник света Нет, если отключен источник света Да, при выключении питания в пределах постоянной времени прибора

Таблица 1 -окончание

Габариты 100 см3 700 см3 700 см3 100 см3

Мощность, 5 Вт 1 Вт 1 Вт Менее 0.01 Вт потребляемая (с учетом термо- чувствительным статирования) элементом

Масса 240 г 1200 г 1200 г 100 г

Стабильность 0.03 град/ч 0.01 град/ч 0.02 град/ч 0.01 град/ч смещения нуля

Случайный уход по углу 0.03 град/ч 0.002 град/ч 0.005 град/ч 0.005 град/ч

Стабильность масштабного 3-Ю"4 10"5 (2ч-10>10'5 Ю-6 коэффициента

Число основных деталей -70 -50 -30 < 10

Срок службы 30 000 час. Ограничен ресурсом Ограничен ресурсом Ограничен ухудшением лазера источника света вакуума. Около 160 000 ч. мэ

Из табл.1 также видно, что ВТГ имеет меньшие габариты и вес, это особенно существенно для космических аппаратов, когда стоимость 1 кг полезного груза достигает нескольких тысяч долларов.

Чувствительный элемент ВТГ потребляет несколько мкВт мощности, тогда как чувствительные элементы КЛГ и ВОГ требуют больше, чем 1 Вт.

Эти достоинства делают ВТГ одним из наиболее перспективных гироскопических приборов для использования в бесплатформенных инерциальных системах.

Однако достижение высокой точности ВТГ возможно лишь в случае, если его чувствительный элемент - полусферический резонатор - имеет высокую добротность [Q~(l-2)-107] и изотропность. Такой резонатор изготавливается из кварцевого стекла и требует использования ряда новых технологий для достижения необходимых параметров. Хотя для вытачивания такого резонатора можно использовать различные способы обработки кварцевого стекла, хорошо известные в оптической технологии, для получения столь высокого уровня добротности необходимо уменьшить все факторы, приводящие к рассеянию энергии упругих колебаний: потери в собственно кварцевом стекле, его поверхностном слое, металлическом покрытии, на межфазной границе металл/стекло, а также в местах крепления резонатора. Для этого необходимо использовать комплекс специальных технологий и методов: методы измерений характеристик высокодобротных полусферических резонаторов, специальные технологии обработки кварцевого стекла, технологию нанесения металлического покрытия с малой диссипацией, методику балансировки резонатора. Несовершенство этих технологий является основной причиной недостаточно высоких характеристик резонаторов, выпускаемых отечественными предприятиями (РПКБ, МИЭА и др.)

Другим фактором, определяющим широкое внедрение ВТГ, является соотношение цена/качество полусферических резонаторов. Сегодня себестоимость резонаторов ВТГ высока, что связано с использованием ряда прецизионных технологических операций, а также с высоким процентом брака резонаторов (до 90%). Поэтому второй важной проблемой, которую должен решить комплекс специальных технологий, является существенное снижение себестоимости резонатора. Эта проблема может быть решена за счет повышения эффективности технологий, существенного снижения технологического брака, а также за счет рациональной конструкции резонатора ВТГ.

Разработка и внедрение такого комплекса технологий позволит улучшить качество и выход годных изделий, снизить их себестоимость и существенно повысить точность ВТГ, что является важной задачей для народного хозяйства и обороноспособности страны.

Разработка новых технологий ВТГ невозможна без детального понимания природы процессов, определяющих диссипативные характеристики полусферического резонатора. Хотя структура, свойства кварцевого стекла и тонких металлических пленок, а также связанные с ними технологические задачи, были предметом исследования на протяжении многих лет, слабые диссипативные процессы, протекающие в резонаторе, которые по существу и определяют его добротность, малоизучены. Имеющаяся в литературе информация недостаточна и разрознена, и поэтому проведение детальных исследований таких диссипативных процессов создает научно-технологическую основу для разработки недорогих высокодобротных резонаторов ВТГ.

Цель работы.

Разработка научно обоснованных технических решений, направленных на создание недорогих высокодобротных полусферических резонаторов высокоточных волновых твердотельных гироскопов, на основе новых адекватных моделей физических и химических процессов, определяющих параметры качества резонатора. Задачи исследования.

Достижение поставленной цели предполагает решение следующих задач:

- выявление основных проблем, решение которых позволяет существенно улучшить точность ВТГ;

- оценка качества математических моделей, используемых для расчета собственных частот полусферического резонатора;

- усовершенствование методов измерения основных параметров полусферических резонаторов;

- установление закономерностей и построение моделей диссипативных процессов в материале резонатора, определяющих его характеристики в рабочей (для ВТГ) области температур и разработка способов уменьшения их интенсивности;

- установление закономерностей диссипативных процессов, протекающих в нарушенном слое и разработка химического метода удаления нарушенного слоя;

- установление закономерностей диссипативных процессов, связанных с адсорбцией молекул атмосферных газов на кварцевом стекле и тонких пленках и определение условий обезгаживания поверхности;

- установление закономерностей диссипативных процессов в тонких металлических пленках, нанесенных на поверхность кварцевого стекла и разработка метода нанесения покрытия с малой диссипацией;

- разработка метода уменьшения упруго-массового дисбаланса полусферических резонаторов, балансировочного оборудования и экспериментальная проверка процедуры балансировки.

В итоге проведенных исследований достигнут ряд новых результатов: разработаны и апробированы новые методы измерения основных параметров резонаторов ВТГ (добротность, разночастотность, массовый дисбаланс, низкочастотный спектр собственных частот, масштабный коэффициент), проанализировано влияние различных факторов на точность измерений; измерено внутреннее трение в кварцевых стеклах, используемых для изготовления резонаторов ВТГ, в области температур -Ю0.+300°С, выявлены слабые диссипативные процессы, связанные со структурой кварцевого стекла и внутренними напряжениями; на основе модели дефектообразования в процессе отжига разработана методика термообработки кварцевого стекла, позволившая впервые достигнуть рекордной добротности полусферического резонатора (8.2±0.2)-107; изучены диссипативные процессы в нарушенном поверхностном слое, образующемся при механической обработке кварцевого стекла и разработана методика химической обработки поверхности для удаления нарушенного слоя; установлено влияние адсорбции атмосферных газов и паров на поверхности кварцевого стекла и тонких металлических пленок на добротность резонатора, определены режимы термообработки для дегидратации поверхности; на основе результатов исследования внутреннего трения в тонких металлических пленках разработана технология нанесения двухкомпонентного металлического покрытия с малой диссипацией; разработана аппаратура и методика балансирования полусферического резонатора методом ионного распыления; на основе исследования внутреннего трения в системе Al-Sc установлен состав сплава с наименьшей диссипацией, пригодный для изготовления металлических резонаторов ВТГ; оценено качество известных математических моделей, используемых для расчета собственных частот резонатора ВТГ, разработана аналитическая модель расчета спектра собственных частот полусферического резонатора.

Практическая ценность работы.

Полученные результаты исследований позволили раскрыть механизмы внутреннего трения в кварцевом стекле и тонких металлических пленках и стали основой разработки способов существенного уменьшения внутреннего трения в них. Разработанные технологии термообработки, химической обработки поверхности резонаторов, балансировки и нанесения токопроводящего покрытия внедрены на предприятии НПП «Медикон». Разработанный метод ионной балансировки резонаторов запатентован и лег в основу промышленной установки для балансирования полусферических резонаторов «Микробаланс».

Химическая обработка поверхности, позволяющая удалять нарушенный поверхностный слой стекла была внедрена в НПО «Астрофизика».

Разработанные методы измерений параметров ВТГ и их резонаторов внедрены в Институте проблем механики РАН, Раменском приборостроительном конструкторском бюро, Московском институте электромеханики и автоматики.

Полученные в диссертации результаты по внутреннему трению в сплаве Al-Sc, а также разработанные методы контроля внутреннего трения использованы Всероссийским институтом легких сплавов при выпуске технических условий на сплав АС 0.5 и подготовки его производства.

Использование разработанных технологий признано целесообразным на предприятии «Российский федеральный ядерный центр -Всероссийский научно-исследовательский инсштут технической физики имени академика Е.И.Забабахина» для разработки инерциального приборного оборудования.

Использование полученных в диссертции результатов не ограничивается только гироскопией, они представляют интерес и для других областей знаний. Так, в настоящее время высокодобротные механические цилиндрические резонаторы из кварцевого стекла используют в качестве чувствительных элементов детекторов гравитационных волн, сооружаемых в рамках международных проектов учеными США, России, Европейского союза и Японии. Досжжение высокой добротности этих элементов связано с решением iex же самых проблем, что и для резонаторов ВТГ. Таким образом, разработанные научно-технологические решения могут быть использованы для решения одной из принципиальных проблем современной физики.

Положения, выносимые на защиту.

1. Установление и экспериментальное подтверждение следующих новых диссипативных эффектов в кварцевом стекле:

- взаимосвязь структурной температуры и внутренне1 о трения;

- диссипация, связанная с внутренними напряжениями в cieKJie;

- диссипация, связанная с поверхностным нарушенным слоем кварцевого стекла;

- диссипация, связанная с гидратным поверхностным слоем и гидратированием напыленных тонких металлических пленок хрома и золота;

- частотная зависимость внутреннего трения и модуля Юнга в кварцевом стекле в диапазоне температур -100. .+300°С.

2. Новый метод химической обрабожи поверхности реюнаюров, позволяющий удалиib нарушенный слой и повысить добротность резонаторов.

3. Методика слжша реюнаюров, позволяющая умепыпип, впуфсннсе 1рение в кварцевом счекле.

4. Результаты исследования внутреннего трения в тонких металлических пленках, позволившие уаановшь природу доминирующих неупру1их процессов в юнких пленках и разработанный способ ме1аллизации полусферическою ре юна юра путем нанесения двухкомпонентного токопроводящего покрышя на основе золота.

5. Способ балансировки полусферических реюнаюров по 1-4-й гармоникам массовой) дефекча.

6. Комплекс экспериментальных меюдов для измерений харак1ерисмик высокодоброшых полусферических реюнаюров из кварцевой) счекла, позволивший:

- измерить дрейф стоячей волны в BIT и определив его масштабный коэффициент;

- определип> расщепление собственных Macioi и нижочастошый спекф собсмвенных nacioi полусферическою реюнаюра;

- измерить внутреннее фение в резонаторе в диапазоне темпера1ур -100.+300Т на нескольких низших модах из1 ибных колебаний;

- измерить парамефы 1-3-й 1армоиик массовок) дефект оболочки полусферическо1 о резона юра;

- измерить добротность и модуль Южа чистых кварцевых сгекол в диапазоне температур -Ю0.+300°С па частотах до 60 кГц.

7. Оценка точности расчета низкочастотного спектра собственных частот полусферического резонатора, выполненного с помощью известных математических моделей.

Диссертационная работа состоит из введения, шести глав, общих выводов, списка литературы и приложения.

Заключение диссертации по теме «Приборы навигации», Лунин, Борис Сергеевич

Выводы к главе 6

Разработаны научно обоснованные технические решения, направленные на разработку полусферических резонаторов ВТГ различных типов.

Установлено, что:

• основная задача, которая решается при разработке резонатора ВТГ состоит в выборе геометрических размеров элементов резонатора, обеспечивающих достаточное разнесение рабочей частоты резонатора и других его собственных частот конструкции на кГц; точность расчета собственных частот резонатора, определяемых с помощью аналитических и конечно-элементных методов составляет 5-^-10%;

• резонаторы, предназначенные для работы в высокомодовых ВТГ должны иметь увеличенный диаметр и минимальную толщину стенки оболочки; повышение номера моды на единицу вызывает увеличение диаметра резонатора примерно на 40%;

• резонаторы, предназначенные для работы в ВТГ с плоским электродным узлом должны иметь высокую добротность свыше 2-107 при комнатной температуре) и площадь торцевой 2 поверхности полусферической оболочки не ~350-400 мм .

На основании проведенных в данной pa6oie icopeiических и экспериментальных исследований сделаны следующие основные выводы.

1) Развита теория внутреннего грения в кварцевом стекле при средних температурах. Установлено, что максимум добротности кварцевого стекла в килогерцовом диапазоне часкл превышает 8-К)7 и доашаекя при ~-100°С.

2) Предложен новый меюд определения сiрукiурной ieMiiepaiypbi кварцевою стекла, основанный на зависимости or структурной температуры ишенсивнос1ей пиков 490 и 606 см1 в ею снекфс комбинационного рассеяния. Впервые установлено, что кварцевые стекла с более низкой структурной температурой имеют более высокую добротность при температуре ниже 0°С, что связано с сужением области структурной релаксации.

3) Впервые показано, что внутренние напряжения в кварцевом стекле, возникающие в процессе его производства и при механической обработке, снижают доброшость резонаюров до (1-2) 106. Па основе модели 01жита кварцевою стекла предложен новый меюд термообработки ре юна торов, позволяющий на порядок увеличить их добротность.

4) Развита теория внутреннею трения в поверхностном нарушенном слое кварцевою стекла, который образуется при ею механической обработке. Показано, что при отсутствии нарушенною слоя увеличение шероховатости поверхности кварцевою стекла в пределах нескольких десятков микрометров не снижает добротность резонатора. Предложен новый эффективный меюд химическою удаления нарушенного слоя, который позволяет отказался oi полировки поверхносчи ре юна юра при ею и л оювлепии.

5) Развита теория Biiyipeniieio фения, вызванною образованием на поверхности кварцевого стекла адсорбционных комплексов с координационной связью и механически инициированной десорбцией молекул воды, связанных со cipyiaypon счекла молекулярными и водородными связями. Определены условия дегидратации поверхности резонаторов.

6) Впервые pajpa6oiana 1ехника и меюдика балансировки полусферических резонаюров ВI Г, использующая ионное распыление неуравновешенной массы, при лом ос точная величина расщепления собственных часют достигае1 0.001 Гц, остаточные значения ipex первых гармоник массового дефекта не превышают 30 мкг, остаточная величина разподобротпосчи составляет в среднем 5%.

7) Развита теория внуфенне! о трения в тонких ме1аллических пленках. Установлено влияние ад1е?ии покрьпия к подложке и вп>фепних напряжений на внуфепнее фепие в кшкой ме/аллической пленке. Разработан новый метод нанесения двухкомпонентною AuCu покрытия с малой диссипацией па шлифованную поверхносп, кварцевого с текла.

8) Впервые установлен механизм внуфепнего фения, возникающею при гидратации поверхности тонкой металлической пленки. Диссипация связана с механически инициированным перераспределением молекул капиллярно сконденсированной воды в порах тонкой пленки.

9) Разработаны и апробированы меюды для измерения харакгериешк высокодобротных полусферических резона юров, в частности, внутреннего трения, расщепления собственных частот и низкочастотного спектра собственных частот, которые могут быть успешно применены при производстве таких резонаторов.

10) Показано, что основная задача, которая решается при разработке резонатора ВТГ состоит в выборе геометрических размеров элементов резонатора, обеспечивающих достаточное разнесение рабочей частоты резонатора и других собственных частот конструкции на ~1 кГц. Точность расчета собственных частот резонатора, определяемых с помощью аналитических и конечно-элементных методов составляет 5Н 0%.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Лунин, Борис Сергеевич, 2006 год

1. Izmailov Е.А., Tchesnokov G.I., Troizkiy V.A. Highly reliable, low-cost, small-size inertial navigation system // Proc. 2nd Saint Petersburg International Conference on Gyroscopic Technology and Navigation Saint Petersburg, 1995. - Part I. — P.l 39-149.

2. Журавлев В.Ф., Климов Д.М. Волновой твердотельный гироскоп -М.:Наука,1985.-125 с.

3. Egarmin N.E., Yurin V.E. Introduction to theory of vibratory gyroscopes -M.: Binom, 1993. Ill p.

4. Матвеев B.A., Липатников В.И., Алехин А.В. Проектирование волнового твердотельного гироскопа М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 1998. -168 с.

5. Джашитов В.Э., Панкратов В.М. Математические модели теплового дрейфа гироскопических датчиков инерциальных систем СПб.: ЦНИИ Электроприбор, 2001. - 150 с.

6. Patent 4157041 (USA). Sonic vibrating bell gyro /E.J.Loper, D.D.Lynch. // Official gazette. 1979. - №983.

7. Djandjgava G.I., Vinogradov G.M., Lipatnikov V.I. Development andihtesting of hemispherical resonator gyroscope // Proc. 5 Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems Saint Petersburg, 1998.-P.218-221.

8. Патент 2164006 (РФ). Волновой твердотельный гироскоп /Е.А.Измайлов, М.М.Колесник, О.Г.Усышкин и др. //Б.И. 2001. - №7.

9. Гуськов A.M., Чижов А.С. Модель резонатора твердотельного вибрационного гироскопа как динамической системы оболочка-крепежный стержень //Вестник МГТУ. Приборостроение. 1991. - №4. -С.55-63.

10. Матвеев В.А., Нарайкин О.С., Иванов И.П. Расчет полусферической оболочки на ЭВМ //Известия высших учебных заведений. Машиностроение. 1987. - №7. - С.6-9.

11. Киреенков А.А. Расчет спектра полусферы на ножке // Известия РАН. Механика твердого тела. 1998. - №4. - С.23-29.

12. Журавлев В.Ф., Линч Д.Д. Электрическая модель волнового твердотельного гироскопа // Известия РАН. Механика твердого тела. -1995.-№5.-С. 12-24.

13. Lynch D.D. Vibration-induced drift in the hemispherical resonator gyro // Proc. Annual Meeting Inst. Navigation Dayton, 1987 - P.34-37.

14. Жбанов Ю.К., Каленова H.B. Поверхностный дебаланс волнового твердотельного гироскопа // Известия РАН. Механика твердого тела. -2001. -№3. С.11-18.

15. Shatalov M.Yu. Spatial motion of vibratory gyroscopes and their balancing operations // Proc. 7lh Saint Petersburg International Conference on integrated navigation systems Saint Petersburg,2000. - P. 158-167.

16. A.c. 1582799 (СССР). Способ динамической и статической балансировки резонатора вибрационного твердотельного гироскопа /В.М.Суминов, П.Н.Баранов, В.И.Опарин и др.// Б.И. 1995. -№19.

17. Белкин А.А. Разработка технологии и оборудования для балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа лазерным излучением: Дис. канд. техн. наук. -М., 2000. 189 с.

18. Loper E.J., Lynch D.D. Hemispherical resonator gyro: status report and test result // Proc. Nat. Techn. Meeting Inst. Navigation San Diego, 1984 -P. 1-3.

19. Lynch D.D., Matthews A.,Varty G.T. Transfer of sensor technology from oil-drilling to space applications.: Proc. 5th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems Saint Petersburg, 1998. -P.27-36.

20. Бесплатформенная инерциальная система БИНС-ТВГ (BINS-TWG): Информационный Бюллетень РПКБ М.: МАКС, 2003 - 2 с.

21. Patent 3656354 (USA). Bell gyro and improved means for operating same / D.D.Lynch. // Official gazette. 1972. - №897.

22. Patent 4951508 (USA). Vibratory rotation sensor / E.J.Loper, D.D.Lynch //Official gazette.-1990.-№l 117.

23. Механическая спектроскопия металлических материалов/М.С.Блантер, И.С.Головин, С.А.Головин С.А и др. М., Международная инженерная академия, 1994. - 249 с.

24. Абаев М.И., Корнфельд М.П. Измерение внутреннего трения твердых тел//Приборы и техника эксперимента. 1964- №2. -С. 150-152.

25. Fraser D.B., LeCraw R.C. Novel method of measuring elastic and anelastic properties of solids//Rev. Sci. Instrum. 1964. - V.35, №9. - P.l 113-1115.

26. Секоян C.C., Чижов A.C. Исследование диссипативных свойств кварцевого стекла по крутильным и тангенциальным колебаниям //Вестник машиностроения. 1995. - №7 - С.26-31.

27. Лунин Б.С. Физико-химические основы разработки полусферических резонаторов волновых твердотельных гироскопов -М.:МАИ,2005.-224 с.

28. Багдасаров Х.С., Брагинский В.Б., Митрофанов В.П. Высокодобротный механический резонатор из монокристаллического сапфира//Вестник Московского Университета. Серия 3 Физика. Астрономия. - 1977. - Т. 18, № 1. - С.98-100.

29. Брагинский В.Б., Митрофанов В.П. Стабилизация частоты генераторов механическими резонаторами из монокристаллов сапфира // Вестник Московского Университета. Серия 3 Физика. Астрономия. - 1978. -Т.19, №4. -С.45-52.

30. Брагинский В.Б., Манукин А.Б. Измерение малых сил в физических экспериментах М.: Наука, 1974. - 152 с.

31. Брагинский В.Б., Митрофанов В.П., Панов В.И. Системы с малой диссипацией М.: Наука, 1981. - 142 с.

32. Жбанов Ю.К., Журавлев В.Ф. О балансировке волнового твердотельного гироскопа // Известия РАН. Механика твердого тела. -1998. -№4. -С.4-16.

33. Зинер К. Упругость и неупругость металлов // Вонсовский С.В. Упругость и неупругость металлов. М., 1954. - С.9-168.

34. ГОСТ 15130-86. Стекло кварцевое оптическое. М.: Издательство стандартов, 1987. - 30 с.

35. Grimley D.I., Wright А.С., Sinclair R.N. Neutron scattering from vitreous silica. 4. Time-of-flight diffraction//J.Non-Cryst. Solids. 1990. - V.l 19, №1. - P.49-64.

36. Mozzi R.L., Warren B.E. The structure of vitreous silica //J.Appl.Cryst. -1969 V.2, №4. - P. 164-172.

37. Лебедев A.A. О полиморфизме и отжиге стекол //Труды ГОИ. 1921. -Т.2, №10.-С.1-20.

38. Randall J.T., Rouksby Н.Р., Cooper B.S. X-ray diffraction and the structure of vitreous solids 111. Krist. 1930. - Bd. 75, № 3/4. - S.196-214.

39. Hicks J.F.R. Structure of silica glass //Science. 1967. - V.l55, №3761. -P.459-461.

40. Goodman C.H.L. A new way of looking at glass //Glass Technol. 1987. -V.28, №1.- P. 19-29.

41. Konnert J.H., Karle J., Fergusson G.A. Crystalline ordering in silica and germania glasses //Science. 1973. - V. 179, №4069. - P. 177-179.

42. Phillips J.C. Spectroscopic and morphological structure of tetrahedral oxide glasses //Sol. State Phys. 1982. - №37. - P.93-171.

43. Zachariasen W.H. The atomic arrangement in glass //J. Amer. Chem. Soc. -1932. V.54, №10. - P.3841-3851.

44. Warren B.E. The basic principles involved in the glassy state //J. Appl. Phys. 1942.- V. 13, №10. - P.602-610.

45. Vukcevich M.R. A new interpretation of the anomalous properties of vitreous silica //J. Non-Ciyst. Solids. 1972. - V.l 1, № 1. - P.25-63.

46. Чабан И.А. Микроскопическая модель низкотемпературных аномалий в диэлектрических стеклах //Физика твердого тела. 1979. -Т.21, №5. -С.1444-1450.

47. Galeener F.L. Raman and ESR studies of the thermal history of amorphous Si02 //J.Non-Cryst. Solids. 1985. -V.71, №3. - P.373-386.

48. Sitarz M., Mozgava W., Handke M. Rings in the structure of silicate glasses //J. Mol. Struc. 1999. -V.511-512. -P.281-285,

49. Poggeman J.-F., Gob A., Heide G. Direct view of the structure of a silica glass fracture surface //J. Non-Ciyst. Solids. 2001. - V.281. - P.221-226.

50. Bell R.J., Dean P. The structure of vitreous silica: validity of the random network theory //Phil.Mag. 1972. - V.25, №6. - P. 1381-1398.

51. Robertson J.L., Moss S.C. Calculation of the scattering properties of computer-relaxed 614 atoms Bell and Dean Si02 network //J.Non-Cryst. Solids. 1988. - V.l06, №1-3. - P.330-335.

52. HongXing He Computer-generated vitreous silica networks //J.Non-Cryst. Solids.- 1987.- V.89.-P.402-416.

53. Gladden L.F. Medium-range order in v-Si02 //J.Non-Ciyst. Solids. 1990. -V.119, №3.- P.318-330.

54. Минаев B.C. Полиморфно-кристаллоидное строение стекла // Физика и химия стекла 1996. - Т.22, №3. - С.314-325.

55. Marians C.S., Burdett J.K. Geometric constrains: a refined model for the structure of silica glass //J.Non-Cryst. Solids. 1990. - V. 124, №1. - P. 1 -21.

56. Marx J.W., Sivertsen J.M. Temperature dependence of the elastic moduli and internal friction of silica and glass //J.Appl.Phys. 1953 - V.24, №1. -P.81-87.

57. McSkimin H.J. Measurement of elastic constants at low temperatures by ultrasonic waves data for silicon and germanium single crystals and for fused silica //J.Appl.Phys. - 1953.- V.24, №8. - P.988-997.

58. Fine M.E., Van Duyne H., Kenney N.T. Low-temperature internal friction and elasticity effects in vitreous silica //J.Appl.Phys. 1954. - V.25, №3. -P.402-405.

59. Anderson O.L., Bommel H.E. Ultrasonic absorption in fused silica at low temperatures and high frequencies // J.Amer.Ceram.Soc. 1955. - V.38, №4. -P.125-131.

60. Strakna R.E. Investigation of low-temperature ultrasonic absorption in fast-neutron irradiated Si02 glass //Phys. Rev. 1961. - V. 123, №6. - P.2020-2026.

61. Anderson P.W., Halperin B.I., Varma C.M. Anomalous low-temperature thermal properties of glasses and spin glasses //Phil. Mag. 1972. - V.25, №1. -P.l-9.

62. Phillips W.A. Tunneling states in amorphous solids //J. Low Temp. Phys. -1972. V.7, №3/4. - P.351 -360.

63. Карпов В.Г., Клингер М.И., Игнатьев Ф.Н. Теория низкотемпературных аномалий тепловых свойств аморфных структур //ЖЭТФ. 1983. - Т.84, №2. - С.760-775.

64. Wright A.F., Leadbetter A.J. The structure of the (3-cristobalite phases of Si02 and AIPO4 //Phil.Mag. 1975. - V.31, №6. - P. 1391 -1401.

65. Сигаев B.H., Смелянская Э.Н., Плотниченко В.Г. Обнаружение низкочастотного максимума в спектре КР высокотемпературного кристобалита и кристобалитоподобное строение кварцевых стекол //Физика и химия стекла. 1999. -Т.25, №2. - С. 155-159.

66. Санин В.Н., Варшал Б.Г. Анализ движения частицы в двухъямном потенциале. Особенности низкотемпературных свойств кварцевого стекла //Физика и химия стекла 1995. -Т.21, №3. - С.241-249.

67. Митрофанов В.П., Фронтов В.Н. Исследование высокодобротного механического резонатора, изготовленного из плавленного кварца //Вестник Московского Университета. Серия 3 Физика и астрономия. -1974. - №4. - С.478-480.

68. Fraser D.B. Acoustic loss of vitreous silica at elevated temperatures // J. Appl. Phys. 1970. - V.41, №1. - P.6-11.

69. Krause J.T. Variables affecting the acoustic loss and velocity of vitreous silica from 4 to 300°K//J. Appl. Phys. 1971. - V.42, №8. -P.3035-3037.

70. Смагин А.Г. Явление поглощения звука в поверхностном слое кристалла // Вопросы радиоэлектроники. Детали и компоненты аппаратуры. 1964. -№11.- С.65-69.

71. Даринский Б.М., Измайлов Н.В., Логинов В.А. Неупругая релаксация в твердых телах, связанная с нарушениями их поверхности // Физика твердого тела. 1987. - Т.29, №12.- С.3529-3533.

72. Балашов Ю.С., Санин В.Н., Шапошников А.Г. Кварцевое стекло -материал для изготовления высокодобротных резонаторов.: Тез. докл. VII Всесоюзной научно-технической конференции по кварцевому стеклу. -СПб., 1991. -С.43-45.

73. Храмовицкий И.А., Вощенко Т.К., Черезова J1.A. Изменение оптических свойств поверхностного слоя при ионно-плазменном распылении кварцевого стекла //Оптика и спектроскопия. 1988. - Т.65, №1. -С.141-146.

74. Шенфельд Н. Поверхностно-активные вещества на основе оксида этилена -М.: Химия, 1982.-749 с.

75. Startin W.J., Beilby М.А., Saulson P.R. Mechanical quality factors of fused silica resonators//Rev. Sci. Instrum.- 1998,-V.69, №10.-P.3681-3689.

76. Warner A.W., Fraser D.B.,Stockbridge C.D. Fundamental studies of aging in quartz resonators // Trans. IEEE Sonics and Ultrasonics. 1965. - V.12, №2. -P.52-59.

77. Ефремов O.H., Неволин B.K., Шермергор Т.Д. Влияние остаточных газов на релаксацию частоты вакуумированных кварцевых резонаторов //Радиотехника и электроника. 1978. -Т.23, № 1. - С.117-121.

78. Киселев А.В. К вопросу о строении геля кремниевой кислоты //Коллоидный журнал 1936.-Т.2,№. 1.-С. 17-25.

79. Методы исследования структуры высокодисперсных и пористых тел -М.: АН СССР, 1953.- 164 с.

80. Young G.J. Interaction of water vapor with silica surfaces //J. Colloid Sci. -1958. V.13, №1. - P.67-85.

81. Киселев A.B., Лыгин В.И. Применение инфракрасной спектроскопии для исследования строения поверхностных химических соединений и адсорбции // Успехи химии. 1962. -Т.31, №3. -С.351-384.

82. Горлов Ю.И., Головатый В.Г., Конопля М.М. Полевая десорбция воды с поверхности кремнезема и строение его гидратного покрова //Теоретическая и экспериментальная химия 1980. - Т. 18,№2. - С.202-206.

83. Garofalini S.H. Molecular dynamics computer simulations of silica surface structure and adsorption of water molecules //J. Non-Cryst. Solids. 1990. -V.120, №1.-P.l-12.

84. Sauer J., Morgeneyer C., Schroder K.-P. Transferable analytical potential based on nonempirical quantum chemical calculations (QPEN) for water-silica interactions //J.Phys.Chem. 1984. - V.88, №25. - P.6375-6383.

85. Numata K., Otsuka S., Ando M., Tsubono K. Intrinsic losses in various kinds of fused silica//Class. Quant. Grav. -2002. V.19, №7.-P. 1697-1702.

86. Geissberger A.E., Galeener F.L. Raman studies of vitreous Si02 versus fictive temperature // Phys. Rev. B. 1983. - V.28, №6. - P.3266-3271.

87. Певницкий И.В. «Фиктивная» температура и средний порядок в кварцевом стекле //Физика и химия стекла. 1990. - Т. 16, №4. - С.667-668.

88. Chemarin С., Champagnon В., Panczer G. Effect of fictive temperature on medium range order in v-Si02 //J. Non-Cryst. Solids. 1997. - V.216. -P.l11-115.

89. Сочивкин Г.М., Хотимченко B.C., Чмель A.E. Влияние связанной воды на энергию активации образования некоторых структурных дефектов в стеклообразном SiCb //Физика и химия стекла. 1988. - Т. 14, №3. -С.381-384.

90. Шуб Э.И. Численное исследование термонапряженного состояния крупногабаритного кварцевого диска в процессе отжига // Физика и химия стекла. 1990.- Т. 16, №3. - С.450-457.

91. Доладугина B.C., Чижов А.С. Нарушения изотропности в кварцевом стекле, снижающие диссипативные характеристики //Оптический журнал. 1998. -Т.65, №12. -С.146-152.

92. Доладугина B.C., Секоян С.С., Чижов А.С. Сравнение диссипативных свойств с оптической однородностью кварцевого стекла // Вестник МГТУ. Приборостроение. 1997. -№3. - С.63-70.

93. Kobayashi Н., Kosugi Т., Kogure Y. Internal friction of Si02 glasses with excessive and deficient oxygen // Phys. B. 1996. - V. 219&220. - P.276-278.

94. Strakna R.E., Clark A.E., Bradley D.L., Slie W.M. Effect of fast-neutron irradiation on the pressure and temperature dependence of the elastic moduli of Si02 glass //J.Appl.Phys- 1963. V. 34, №5. - P. 1439-1443.

95. Санин B.H., Скрипников B.A., Кренев Ю.Л. Влияние деформации на низкотемпературное поглощение ультразвука в кварцевом стекле //Физика и химия стекла. 1989. -Т.15, №3. -С.488-493.

96. Ageev A., Palmer B.C., De Felice A. Very high quality factor measured in annealed fused silica //Class. Quant. Grav. 2004. - V.21. - P.3887-3892.

97. Isard J.O., Douglas R.W. The relaxation of stress in fused silica. Part I. Experimental //J.Soc.Glass Techn. 1955. - V.36, №187. - P.61-82.

98. Леко B.K., Мещерякова E.B. Релаксация напряжения в кварцевом стекле //Физика и химия стекла. 1976. - Т.2, №4. - С.311-317.

99. Agarwal A., Tomozawa М. Surface and bulk structural relaxation kinetics of silica glass // J. Non-Cryst. Solids. 1997. - V.209, №3. - P.264-272.

100. Доладугина B.C., Каленов А.А. Термообработка газонаплавленных кварцевых стекол // Оптический журнал. 1998. - Т.65, №9. - С.70-74.

101. Primak W. The annealing of vitreous silica //Phys. Chem. Glass. -1983. V.24, № 1.- P.8-17.

102. Bruning R., Cottrell D. X-ray and neutron scattering observations of structural relaxation of vitreous silica // J. Non-Cryst. Solids. 2003. - V.325, №1-3. - P.6-15.

103. Бартенев Г.М., Сандитов Д.С. Релаксационные процессы в стеклообразных системах Новосибирск: Наука, 1986. - 181 с.

104. Регель В.Р., Слуцкер А.И., Томашевский Э.Е. Кинетическая природа прочности твердых тел М.: Наука, 1974. - 560 с.

105. Proctor В.А., Whitney I., Johnson J.W. The strength of fused silica" //Roy. Soc. A. Math. phys. sci. 1967. - V.297, №1451. -P.534-557.

106. Асланова M.C., Шелюбский В.И., Хазанов B.E. О влиянии тепловой обработки на прочность кварцевого волокна // Бартенев Г.М. Механические и тепловые свойства и строение неорганических стекол. -М.,1972. С.31-35.

107. Тотеш А.С. Исследование микроструктуры травленых поверхностей //Труды ЛТИ им. Ленсовета. 1952. - №24. - С.70-78.

108. Visscher W.M. Elastic wave scattering by a surface-breaking or subsurface planar crack // J.Appl.Phys. 1984. - V.56, №3. - P.713-725.

109. Michalskie T.A., Bunker B.C. A chemical kinetics model for glass fracture//J. Amer. Ceram. Soc. 1993. - V.76, №10. -P.2613-2618.

110. Crank J. The mathematics of diffusion -Oxford: Clarendon Press, 1975. -414 p.

111. Постников B.C. Внутреннее трение в металлах М.: Металлургия, 1968.-330 с.

112. Метод внутреннего трения в металловедческих исследованиях /М.С.Блантер, Ю.В.Пигузов, Г.М.Ашмарин и др. М.: Металлургия, 1991.-248 с.

113. Кикоин А.К., Кикоин И.К. Молекулярная физика М.: Наука, 1976. -480 с.

114. Granato A., Lucke К. Theory of mechanical damping due to dislocations //J.Appl.Phys 1956. - V.27, №6. - P.583-593.

115. Seeger A. On the theory of the low-temperature internal friction peak observed in metals // Phil. Mag. 1956. - V. 1, №7. - P.651 -662.

116. Schoek G., Bisogni E., Shyne J. The activation energy of high temperature internal friction //Act. met. 1964. - V. 12, №12. - P. 1466-1468.

117. Даринский Б.М., Федоров Ю.А. Дислокационная теория зернограничной релаксации // Тавадзе Ф.Н., Постников B.C., Гордиенко JT.K. Механизмы внутреннего трения в полупроводниковых и металлических материалах. М., 1972. - С. 117-120.

118. Кривоглаз М.А. Теория затухания упругих колебаний в системах, содержащих растворяющиеся частицы или микрополости //Физика металлов и металловедение. 1961. - Т. 12, №3. - С.338-349.

119. Suzuki Т., Tsubono К., Hirakawa Н. Quality factor of vibration of aluminium alloy disks //Phys. Lett. 1978. - V.67A, № 1. - P.2-4.

120. Leger P. QUAPASON™ a new low-cost vibrating gyroscope // Proc. 3rd Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems. - Saint Petersburg, 1996. - Part I. - P. 143-150.

121. Щепетильников В.А. Уравновешивание роторов и механизмов -М.: Машиностроение, 1978. 250 с.

122. Yi J.L.J., Strutt P.R. Surface modification of Si02 glass by laser processing // J.Non-Cryst. Solids. 1990. - V. 120. - P.283-287.

123. Kozhukharov V., Dimitrov D., Tonchev D. Interaction of C02 laser radiation with glasses // Infrared Phys. 1989. - V.29, №2-4. - P.415-422.

124. Никольский C.M. Курс математического анализа M.: Наука, 1991. -Т.2.-528 с.

125. Патент 2079107 (РФ). Устройство для автоматической балансировки резонатора твердотельного волнового гироскопа лучом лазера/ П.Н.Баранов, В.М.Суминов, В.И. Опарин В.И. и др. // Б.И. 1997. -№13.

126. Акишин А.И., Васильев С.С., Исаев JI.H. Катодное распыление слюды и плавленного кварца ионами криптона // Известия АН СССР. Серия физическая. 1962. - Т.26, №11.- С. 1356-1358.

127. Диняева Н.С., Титова Т.В., Рыжов Ю.А. Исследование изменений структуры поверхности кварцевого стекла при ионной бомбардировке //Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1973. - Т.9, №11.-С.2037-2041.

128. Edwin R.P. Measurements of the sputter rate of fused silica bombarded by argon ions of energy 12-32 keV //J.Phys.D. 1973. - V.6. -P.833-841.

129. Tarasevich M. Ion beam erosion of rough glass surfaces // Appl. Opt. -1970. V.9, №1- P. 173-176.

130. Черезова JI.А. Модификация поверхности оптических материалов ионной и ионно-химической обработкой // Оптический журнал. 2000. -Т.67, №10.-С.3-8.

131. Branger V., Pelosin V., Badawi K.F. Study of the mechanical and microstructural state of platinum thin film //Thin Solid Films. 1996. -V.275, №1-2. -P.22-24.

132. Хасс Г., Тун Р.Э. Физика тонких пленок М.: Мир, 1967 - Т.2.-396 с.

133. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок М.: Атомиздат, 1979.-263 с.

134. Палатник Л.С., Гладких Н.Т. Об эффекте микрогетерогенной конденсации металлов в вакууме // Доклады АН СССР. 1961. - Т. 140, № 3. - С.567-570.

135. Захаров В.И., Кантор М.М. Влияние скорости напыления на структуру и электрические свойства пленок серебра, наносимых на кварцевые пластины // Электронная техника. Серия 9 -Радиокомпоненты. 1970. - № 2. - С.78-83.

136. Widmer H. Epitaxial growth of Si on Si in ultra high vacuum //Appl. Phys.Lett. 1964.- V.5, №5. - P. 108-110.

137. Poppa H. Progress in the continuous observation of thin-film nucleation and growth processes by electron microscopy //J.Vac.Sci.Technol. 1965. -V.2, №1. -P.42-48.

138. Belser R.B., Hicklin W.H. Temperature coefficient of resistance of metallic films in the temperature range 25° to 600°C // J. of Appl. Phys. -1959. -V.30,№3. -P.313-322.

139. Kane W.M., Spratt J.P., Heishinger L.W. Effects of annealing on thin gold films //J. Appl. Phys. 1966. - V.37, №5. -P.2085-2089.

140. Холлэнд Jl. Нанесение тонких пленок в вакууме М.: Госэнергоиздат, 1963. - 608 с.

141. Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках М.: Мир, 1972.-435 с.

142. Тушинский Л.И., Плохов А.В. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий Новосибирск:Наука,1986. - 200 с.

143. Abermann R. Measurements of the intrinsic stress in thin metal films //Vacuum. 1990.- V.41, №4-6. - P.l279-1282.

144. Thompson C.V., Carel R. Stress and grain growth in thin films //J.Mech.Phys.Solids.- 1996. V.44, №5. - P.657-673.

145. Hoffman D.W., Thornton J.A. Internal stresses in sputtered chromium //Thin Solid Films. 1977. - V.40. - P.355-363.

146. Thornton J.A., Tabock J., Hoffman D.W. Internal stress in metallic films deposited by cylindrical magnetron sputtering // Thin Solid Films. -1979. V.64, № 1. - P. 111 -119.

147. Данков П.Д., Чураев П.В. Эффект деформации поверхностного слоя металла при окислении // Доклады АН СССР. 1950. - Т.73, №6. -С.1221-1224.

148. W.D.Nix Yelding and strain hardening of thin metal films on substrates // Scripta Mater 1998. - V.39, №4/5. - P.545-554.

149. Белоногов B.K., Золотухин И.В., Иевлев B.M. Внутреннее трение в пленках алюминия // Физика и химия обработки материалов. -1968.-№ 5. -С.163-165.

150. Pelosin V., Badawi K.F., Branger V. Internal friction and its thermal evolution measured on very thin platinum films //Appl. Phys. Lett. 1995. -V.66, №6. - P.691-693.

151. Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л.Майссела, Р.Глэнга М.: Советское радио, 1977. - Т.2. - 662 с.

152. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы М.:Радио и связь, 1982. - 73 с.

153. Weaver С., Hill R.M. Ageing effects in bimetallic films //Phil.Mag. -1959. V.4, №46.-P. 1107-1125.

154. Мальцева Г.К., Постников B.C., Усанов В.В. Внутреннее трение бинарных упорядочивающихся сплавов на основе гранецентрированной кубической решетки // Физика металлов и металловедение. 1963. -Т. 16, №2. - С.302-309.

155. MaderS. Alloy phenomena in thin films: metastable alloy phases // Anderson J.C. The use of thin films in physical investigations". London -New York, 1966.-P.433-446.

156. Грег С., Синг JI. Адсорбция, удельная поверхность, пористость -М.: Мир, 1984.-310 с.

157. Коновалов С.Ф. Гироскопы, навигационные приборы и комплексы -М.: МГТУ им.Н.Э.Баумана, 1990. 160 с.

158. Стенды для статических и динамических испытаний вибрационных гироскопов /Б.С.Коновалов, С.Ф.Коновалов, А.В.Кулешов и др. //Гироскопия и навигация. 2002. -№4. - С.85-86.

159. Коновалов С.Ф. Цифровые преобразователи и электронные устройства гироскопических систем-М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 1990.— 56 с.

160. Черников С.А. Динамика нелинейных гироскопических систем -М.: Машиностроение, 1981.-224 с.

161. Основные сведения об исследованных полусферических резонаторахп/п Обозначение Материал Диаметр, мм Толщина стенки, мм Конструктивные особенности Изготовитель

162. Э15 Кварцевое стекло KB 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

163. Э16 Кварцевое стекло KB 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

164. Э17 Кварцевое стекло KB 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

165. Э37 Кварцевое стекло КУ-1 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

166. Э40 Кварцевое стекло КУ-1 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

167. Э56 Кварцевое стекло КУ-1 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

168. Э61 Кварцевое стекло КУ-1 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

169. Э63 Кварцевое стекло КУ-1 60 2 Двухстронняя ножка НПО электромеханики

170. М20 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

171. М36 Кварцевое стекло МГУ 30 1.25 Односторонняя ножка Hi 111 «Медикон»

172. М54 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

173. М64 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

174. М100 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

175. М135 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ожка HI ill «Медикон»

176. М140 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ожка НПП «Медикон»

177. М144 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

178. Ml 84 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

179. М188 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

180. М189 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка HI ill «Медикон»

181. М191 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

182. М193 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

183. М194 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

184. М195 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

185. М200 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

186. М202 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

187. М203 Кварцевое стекло КУ-1 30 1.25 Односторонняя ножка НПП «Медикон»

188. L001 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка Litton Guidance and Control Systems

189. L002 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка Litton Guidance and Control Systems

190. L003 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка Litton Guidance and Control Systems

191. L004 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка Litton Guidance and Control Systems

192. L005 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка Litton Guidance and Control Systems

193. L006 Кварцевое стекло КС4В 30 1.25 Односторонняя ножка Litton Guidance and Control Systems

194. Ml/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

195. М2/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

196. МЗ/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

197. М4/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

198. М5/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

199. М6/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

200. М7/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

201. М8/64 Кварцевое стекло КУ-1 63.8 1.9 Двухстороняя ножка МИЭА

202. Ml/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

203. МЗ/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

204. М5/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

205. М8/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

206. М14Б/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

207. Ml 6/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

208. Ml 9/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

209. М20/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

210. М21/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

211. М22/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

212. М23/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

213. М25/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

214. М26/20 Кварцевое стекло КУ-1 20 0.7 Двухсторонняя ножка МИЭА

215. РПКБ-5 Кварцевое стекло КУ-1 70 1.5 Двухсторонняя ножка РПКБ

216. РПКБ-6 Кварцевое стекло КУ-1 70 1.5 Двухсторонняя ножка РПКБ

217. РГЖБ-96 Кварцевое стекло КУ-1 50 1.5 Двухсторонняя ножка РПКБ

218. РГПСБ-104 Кварцевое стекло КУ-1 50 1.5 Двухсторонняя ножка РПКБ

219. МВТУ-1 Кварцевое стекло КУ-1 70 1.5 Двухсторонняя ножка МВТУ

220. МВТУ-2 Кварцевое стекло КУ-1 70 1.5 Двухсторонняя ножка МВТУ

221. МВТУ-3 Кварцевое стекло КУ-1 70 1.5 Двухсторонняя ножка МВТУ

222. МВТУ4 Кварцевое стекло КУ-1 70 1.5 Двухсторонняя ножка МВТУ

223. AI СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 06 мм ИПМех

224. АИ СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 010 мм ИПМех

225. AIII СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 016 мм ИПМех

226. BV СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 012 мм ИПМех

227. Bill СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 016 мм ИПМех

228. BIV СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 020 мм ИПМех

229. CI СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 010 мм ИПМехоо

230. CV Сплав Д16Т 62 1 Односторонняя ножка 012 мм ИПМех

231. CVI1 СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 014 мм ИГТМех

232. DII Сплав Д16Т 62 2 Односторонняя ножка 06 мм ИПМех

233. DVI СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 08 мм ИПМех

234. DV СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 012 мм ИПМех

235. EVI СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 08 мм ИПМех

236. EVII СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 014 мм ИПМех

237. EIII СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 016 мм ИПМех

238. FVI СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 08 мм ИПМех

239. FI СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 010 мм ИПМех

240. FIV СплавД16Т 62 2 Односторонняя ножка 020 мм ИПМех

241. GII СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 06 мм ИПМех

242. GVII СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 014 мм ИПМех

243. GIV СплавД16Т 62 1 Односторонняя ножка 020мм ИПМех1. UJ

244. Основные сведения об исследованных цилиндрических резонаторах

245. SP 25 105 Синтетический сапфир Институт кристаллографии

246. МЦ1 18.2 95 Сплав AISc Всероссийский институт легких сплавов

247. МЦ2 18.2 105 Сплав AISc Всероссийский институт легких сплавов

248. МЦЗ 18.1 90 Сплав AISc Всероссийский институт легких сплавов

249. МЦ4 17 105.5 Сплав AISc Всероссийский институт легких сплавов1. UJ

250. Основные параметры исследованных ВТГп/п Тип прибора Зав. номер Материал резонатора Добротность резонатора Расщепление собственных частот, Гц

251. ШЮ-34-016А 28460 Кварцевое стекло КУ-1 7-105 0.05

252. ШЮ-34-016А 28503 Кварцевое стекло КУВИ 4-106 0.00091. СУ)

253. Основные типы кварцевого стекла