Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники

Ануфриева, Ирина Викторовна 2004
Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства

Самойликов, Роман Вячеславович 2004
Исследования и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации

Болесов, Игорь Анатольевич 2004
Механизмы переноса носителей заряда в солнечных батареях на основе a-Si:H и его сплавов И c-Si

Сизов, Алексей Владимирович 2004
Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом

Артемов, Евгений Иванович 2004
Моделирование концентрационных профилей компонентов в низкоразмерных гетероструктурах InGaAs/(Al)GaAs, формируемых методом МОС-гидридной эпитаксии

Андреев, Андрей Юрьевич 2004
Модифицированные составы и ресурсосберегающие процессы получения Mn-Zn-ферритов для высокочастотных силовых трансформаторов

Подгорная, Светлана Владимировна 2004
Научное и технологическое обеспечение нанесения упрочняющих наноразмерных тонкопленочных покрытий для изделий электронной техники

Осипов, Александр Владимирович 2004
Оптимизация процесса МОС-гидридной эпитаксии слоев GaAs, AlxGa1-xAs и InxGa1-xAs на основе математической модели

Косарев, Артем Михайлович 2004
Получение твердых растворов GalnAsP на подложках пористого фосфида индия

Шишков, Максим Викторович 2004
Разработка и исследование метода высокотемпературного протонного обмена для формирования волноводных структур в кристаллах ниобата и танталата лития

Алкаев, Александр Николаевич 2004
Разработка и исследование процесса и оборудования низкотемпературного испарения влагосодержащих веществ в вакууме

Ковалева, Наталья Львовна 2004
Разработка и применение методов моделирования в технологиях выращивания монокристаллов из расплава

Простомолотов, Анатолий Иванович 2004
Разработка материалов и процессов для формирования системы металлизации СБИС субмикронного уровня

Климовицкий, Анатолий Григорьевич 2004
Разработка технологии пластин полупроводниковых соединений AIIIBV современной точности обработки

Мальвинова, Ольга Валерьевна 2004
Разработка технологии формирования и исследование протонообменных световодных структур в конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития

Масленников, Евгений Ильич 2004
Разработка технологического метода повышения эксплуатационных показателей нелинейных преобразователей спектра радиосигналов путем применения AlGaAs гетероструктур

Малышев, Константин Васильевич 2004
Разработка физических принципов и создание оборудования для модификации магнитных состояний тонкопленочных слоев магнитных носителей информации

Хлопов, Борис Васильевич 2004
Слоистые структуры на основе бактериородопсина: получение, строение и применение для элементов устройств обработки информации

Адамов, Григорий Евгеньевич 2004
Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров

Авдиенко, Александр Андреевич 2004