Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации	Автор	Год
Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники	Прусаков, Евгений Викторович	2001
Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра	Яковлев, Сергей Петрович	2001
Основы формально-эвристического проектирования вакуумного оборудования электронной техники	Львов, Борис Глебович	2001
Получение и исследование высокоиндукционных магнитодиэлектрических материалов и радиокомпонентов на их основе	Васильева, Ольга Вячеславовна	2001
Получение и исследование керамических структур для приборов метрологии	Шарин, Андрей Геннадьевич	2001
Получение и исследование свойств наногетерогенных структур на основе системы вольфрам-углерод	Чмырова, Ольга Леонидовна	2001
Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ	Сысоев, Андрей Александрович	2001
Процессы электрохимического формирования твердотельных наноструктур	Гаврилов, Сергей Александрович	2001
Разработка и исследование гетероструктур InP/InGaAsP для систем волоконно-оптических линий связи и промышленной технологии их производства	Науменко, Наталья Васильевна	2001
Разработка и исследование технологии получения эпитаксиальных гетероструктур арсенида галлия-алюминия для преобразователя-генератора импульсов света	Образцов, Андрей Александрович	2001
Разработка полупроводниковых материалов для приборов ночного наблюдения и промышленной технологии их производства	Пинчук, Игорь Владимирович	2001
Сверхпроводниковые и сегнетоэлектрические перовскитные пленочные структуры в СВЧ микроэлектронике	Карманенко, Сергей Федорович	2001
Синтез и исследование стекловидных диэлектрических материалов и пленок на их основе, полученных золь-гель методом	Дворников, Сергей Александрович	2001
Солнечные элементы на основе аморфного гидрогенизированного кремния, полученные в низкочастотном тлеющем разряде	Черномордик, Владимир Дмитриевич	2001
Структурная динамика многокомпонентных твердых растворов соединений A3 B5 и A4 B6 , формируемых в поле температурного градиента	Труфманов, Алексей Петрович	2001
Технологические основы разработки композиционных эмиттеров вторичных электронов для вакуумных изделий электронной техники	Жданов, Сергей Михайлович	2001
Технология, свойства и применение кристаллов на основе диоксида циркония	Ломонова, Елена Евгеньевна	2001
Фотопроводимость и плотность состояний в a-Si: H и сплавах на его основе	Горбулин, Григорий Львович	2001
Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники	Антоненко, Константин Иванович	2000
Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации	Сорокин, Константин Викторович	2000